Opis opreme:
· Uvod opreme:
Izrazite molekule procesa plina koje prolaze kroz komoru za jetkanje i ioniziraju se kako bi se dobila plazma.
Izrazite neke od aktivnih skupina u plazmi reagiraju s površinom urezanog materijala;
Express Thin Film Etcching oprema kroz napajanje impulsa/radiofrekvencije, pozitivni ioni u plazmi fizički se bombardiraju na površini urezanog materijala, tako da čiste, modificiraju i utišaju površinu materijala kombinacijom fizike i kemije.
· Prednosti opreme:
Express ultra niska temperatura jetkanja, kako bi se ispunili temperaturni zahtjevi u različitim prilikama, mogu izbjeći toplinski napon i deformaciju supstrata;
Express dvostruki izvor iona može se podići obje strane cilindra, lako održavanje;
Express Thin Film Etching Expressing prihvaća izvor čišćenja ionskog snopa i jedinstvenu tehnologiju pražnjenja, visoka gustoća plazme, učinak čišćenja jetkanja je dobar, s dobrom uniformnom;
Express alarma i zaštita: Sveobuhvatna sigurnosna zaštita uključuje: Funkcija zaštite od temperature, funkcija zaštite od preopterećenja, funkcija zaštite alarma kratkog spoja, različita funkcija zaštite od pogrešne operacije.
Polje prijave:
Express jetkani materijali: metal, ne-metal, legura, elektroničke komponente (monokristalni silicij, amorfni silicij, polisilikon, soi), metalni oksidi, nitridi, karbidi, keramika, polimeri, superprevodni materijali, itd.
Express može se koristiti kao film za blijedo za DLC/TA-C filmove.
Express se može koristiti u: 3C potrošačkoj elektronici, elektroničkim komponentama, optici, prijevozu, kalupu za alate, kućnim aparatima, novoj energiji, medicinskim, istraživačkim institutima i drugim industrijama.
Prije jetkanja iona nakon jetkanja iona
Popularni tagovi: Oprema za jetak tankih filmova, Kina Proizvođači opreme za jetkanje tankih filmova, dobavljači, tvornica, oprema za jetak visoke performanse, selektivni uređaj za jetak, anizotropna oprema za jetak, alati za biomedicinsko jetkanje, Strojevi za jetak optičkog uređaja, Nemsovi sustav za jetak
