Industrijska platforma za fizičko taloženje iz pare (PVD) projektirana za-brzu sintezu gustih,-otpornih na trošenje i funkcionalnih tvrdih premaza. Održavanje visoke-struje, niskog{4}}napona pražnjenja katodnog luka na čvrstim ciljnim površinama stvara struju ionizirane plazme od 80% do gotovo 100%.
U kombinaciji s programibilnim negativnim pomicanjem supstrata, ova visoka kinetička energija pokreće miješanje međupovršina na atomskoj-ljestvici, što daje vrhunsko prianjanje filma i nultu poroznost stupaca. Arhitektura komore podržava modularne više-katodne konfiguracije za automatizirano taloženje jedno-slojnih, više-slojnih nano-laminata i stehiometrijskih gradijentnih prevlaka (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Tehnička specifikacija |
|
Dimenzije komore |
Prilagođeni cilindrični/pravokutni (Standardno: Phi 800 mm x 1000 mm do Phi 2000 mm) |
|
Struktura komore |
SUS304/316L nehrđajući čelik s dvostrukim stijenkama s integriranim spiralnim kanalima vode za hlađenje |
|
Krajnji vakuumski tlak |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Backed by magnetic levitation turbomolecular + roots-rotary pump stack) |
|
Ciklus-ispumpavanja |
Atmosfera do 6,0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes |
|
Izvori katodnog luka |
4 do 8 neovisnih DC kanala (Phi 85 mm / Phi 100 mm vodom-hlađeni držači meta) |
|
Izlazna snaga luka |
0-200 A kontinuirano podesivo po kanalu; integrirano mikrosekundno gašenje luka |
|
Supstrat Bias Supply |
0-1000 V podesivo, pulsni istosmjerni izlaz (frekvencijski raspon 10-50 kHz) |
|
Zagrijavanje podloge |
Niz kvarcnih infracrvenih lampi; operativni strop od 600 stupnjeva (+/- 5 stupanj ujednačenosti) |
|
Kretanje učvršćenja |
Planetarna rotacija ili rotacija s dvije-osi putem rotacijskih prolaza magnetske tekućine (0-5 okr/min) |
|
Kontrolna arhitektura |
PLC + industrijsko računalo (IPC) u realnom-vremenskom izvršavanju recepata sa sigurnosnom blokadom |
Ključne značajke
Visoka stopa ionizacije:Izravna katodna vaporizacija pretvara metalni tok u ione visoke-gustoće, potičući guste zrnate strukture bez mikro-praznina.
Aktivno magnetsko upravljanje:Programabilne elektromagnetske zavojnice pomiču točku luka preko ciljnih površina, suzbijajući lokalizirano stvaranje kratera i povećavajući iskoristivost ciljnog materijala iznad 60%.
Dinamička kontrola plina:Regulatori masenog protoka (MFC) u zatvorenoj-petlji reguliraju ubrizgavanje reaktivnog plina (N2, O2, C2H2) putem povratne informacije parcijalnog tlaka u stvarnom{5}}vremenu.
Sinergija-izvora:Zidovi komore prilagođavaju se hibridnim rasporedima meta, omogućujući neprekinuto sekvencijalno taloženje više-komponentnih keramičkih slojeva u jednom ciklusu vakuuma.
Konfiguracija vakuumskog sustava
Gruba i korijenska grupa:Pumpa s rotirajućim{0}}krilcima s izravnim-pogonom uparena s-Roots puhalom velike zapremine za rukovanje velikim opterećenjem plinom tijekom reaktivne obrade.
Stupanj visokog vakuuma:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) povezan putem pneumatskog zasuna visoke-vodljivosti.
Vakuumska instrumentacija:Isprepleteni Pirani i Cold Cathode dvostruki-mjerni uređaj za praćenje ukupnih raspona tlaka od atmosfere do 10^-6 Pa.
Integritet curenja:Prirubnice-zabrtvljene elastomerom s hlađenjem-vodenim omotačem održavaju stope curenja sustava ispod 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.
Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge
Materijali katodnih meta
Prijelazni metali i legure:Titan (Ti), krom (Cr), cirkonij (Zr), aluminij (Al), titan-aluminij (TiAl 50/50, 33/67), volfram (W).
Ne-metali:Grafit visoke-čistoće (C) za dijamantne-ugljične slojeve (DLC) i karbidne slojeve.
Industrijske podloge
Alatni čelici i karbidi:Brzo{0}}čelik (HSS), cementirani karbidi (WC-Co).
Strukturalne legure:Austenitni/martenzitni nehrđajući čelici, legure titana (TC4), superlegure na bazi nikla-(Inconel).
Prijave
Alati za precizno rezanje:Taloženje TiAlN i AlTiN na svrdlima, čeonim glodalicama i pločama za kuhanje zupčanika za podizanje površinske tvrdoće na 3300-3500 HV i povećanje otpornosti na toplinsku oksidaciju do 800 stupnjeva.
Automobilski inženjering:Premazi otporni na -trenje,-na habanje na komponentama ubrizgavanja goriva, klipnim prstenovima i podizačima.
Kalupi i matrice:Taloženje krom nitrida (CrN) na kalupe za brizganje plastike radi sprječavanja trošenja ljepila, mikro-zavarivanja i lijepljenja smole.
Mogućnosti prilagodbe
Veličina komore:Geometrijske izmjene skrojene za prevelike arhitektonske ploče ili velike{0}}protočne vrtuljke s malim alatima.
Hibridizacija izvora:Integracija izvora katodnog luka s neuravnoteženim magnetronskim (UBM) raspršivanjem ili HiPIMS katodama u jedinstveno tijelo.
Sučelja automatizacije:Tvornička MES integracija putem OPC-UA protokola zajedno s automatskim opcijama otvora za utovar.
Kontrola kvalitete i tvorničko testiranje
Provjera curenja helija:Provjera curenja masenim spektrometrom izvršena na svim zavarenim spojevima i vakuumskim brtvama.
Revizija električne sigurnosti:Ispitivanje hipopot izolacije, provjere kontinuiteta uzemljenja i E-verifikacija petlje za zaustavljanje.
72-satni test rada:Kontinuirano suho -cikliranje mehaničkih rotacijskih pogona, prekidača protoka vode i sekvenci PLC ventila prije rastavljanja.
Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):Izvedeno na-licu mjesta radi provjere osnovnih razina vakuuma, stabilnosti paljenja luka i distribucije osnovne debljine na kalibracijskim kuponima.
Instalacija i tehnička podrška
Predaja zahtjeva za objekt:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 stupnjeva), odvod ispušnih plinova i padovi napajanja (3-fazni, 380V/480V).
Puštanje u rad na terenu:Na-nadzor inženjera strojarstva i elektrotehnike na licu mjesta koji pokriva poravnanje, spajanje i probne serije.
Obuka operatera:Strukturirane upute o konfiguraciji recepata softvera, postupcima izmjene katodnih meta i preventivnom održavanju vakuuma.
Daljinska dijagnostika:Sigurni industrijski VPN pristupnik ugrađen u upravljačku ploču za softversku telemetriju i podršku za rješavanje problema.
Često postavljana pitanja
P: Kako se sustav nosi s mikrokapljicama (makročesticama) uobičajenim u nefiltriranim procesima s katodnim lukom?
O: Standardne konfiguracije koriste optimizirana elektromagnetska upravljačka polja za kontrolu brzine točke luka i smanjenje emisije kapljica. Za poluvodičke ili optičke primjene koje zahtijevaju sub-mikronske razine defekta, moduli magnetskih kanala s filtriranim katodnim lukom (FCA) mogu se integrirati za hvatanje neutralnih makročestica.
P: Koje je tipično vrijeme obrade ciljne zamjene?
O: Katode koriste brzo{0}}definirane mehaničke stezaljke. Uvježbani operater može izvršiti kompletan set zamjena meta unutar 30 minuta bez razbijanja strukturnih brtvi komore.
P: Može li sustav izvršiti automatske gradijentne više{0}}slojne radove bez intervencije operatera?
O: Da. PLC mehanizam za recepte kontrolira više{1}}fazne recepte, upravljajući prijelazima u parcijalnim tlakovima reaktivnog plina, profiliranjem prednaprezanja supstrata i automatskim sekvencijalnim -aktiviranjem kanala napajanja.
P: Koji su točni osnovni preduvjeti za pripremu lokacije?
A: The installation site must supply a closed-loop industrial chiller (15-30 kW cooling capacity), clean compressed air (>= 0.6 MPa), high-purity process gases (Ar, N2, C2H2 at >= 99.999% čistoće) i stabilno industrijsko 3-fazno napajanje.
Popularni tagovi: oprema za lučno taloženje isparavanjem, proizvođači, dobavljači, tvornica opreme za lučno taloženje isparavanjem, tanki film PVD sustav
