Kina Proizvođači opreme za tankoslojnu isparavanje elektronskom zrakom Dobavljači Tvornica

Pregled proizvoda

Ova tankoslojna oprema za isparavanje elektronskim snopom projektirana je za visoko{0}}precizno fizičko taloženje iz pare (PVD). Upotrebom fokusiranog visoko{2}}energetskog snopa elektrona za bombardiranje izvornih materijala, sustav postiže visoke stope isparavanja za metale, okside i dielektrične materijale s visokim-talištem-.

Izgrađen na modularnoj vakuumskoj arhitekturi, sustav se prilagođava više-džepnih elektronskih topova, prilagodljivim učvršćenjima supstrata i naprednim-nadzorom na licu mjesta. Opslužuje laboratorije za istraživanje i razvoj i proizvodne-linije visoke propusnosti koje zahtijevaju strogu kontrolu stehiometrije filma, adhezije i optičkih performansi.

Oprema za isparavanje elektronskim snopom visokog vakuuma
EBE-Serija visokovakuumskih sustava za isparavanje elektronskim snopom taloži tanke filmove visoke-čistoće za optičke, poluvodičke i metalurške primjene. Usmjeravanjem magnetski fokusirane zrake...
vidi više
Sustav taloženja tankog filma elektronskim snopom
Sustav taloženja tankog filma elektronskim snopom pruža usmjerenu PVD obradu visoke{0}}čistoće za napredna istraživanja i industrijsku proizvodnju. Upotrebom fokusiranog, magnetski upravljanog...
vidi više
Oprema za vakuumsko isparavanje elektronskim snopom
Ovaj sustav vakuumskog isparavanja elektronskim snopom izvodi fizičko taloženje parom (PVD) metala, oksida i dielektrika s visokom{0}}talištem-. Usmjeravanjem fokusiranog snopa elektrona u bakreno...
vidi više
Oprema za taloženje tankog filma elektronskim snopom
Ovaj industrijski sustav taloženja elektronskim snopom koristi magnetski fokusirane elektronske topove (3 kW do 15 kW) za usmjeravanje energetskih tokova visoke-gustoće u vodom-hlađena bakrena...
vidi više
Sustav tankog filma isparavanja elektronskim snopom
EBE-Serijski sustav za isparavanje elektronskim snopom projektiran je za fizičko taloženje parom (PVD) metala s visokim-talištem-, dielektrika i optičkih materijala. Korištenjem magnetski...
vidi više
Tankoslojna oprema za isparavanje elektronskim snopom
Serija EBE-V600 industrijska je{2}}platforma za fizičko taloženje iz pare (PVD) dizajnirana za precizno premazivanje tankim-slojem optičkih komponenti, poluvodičkih uređaja i naprednih materijala....
vidi više

Tehničke specifikacije

Parametar	Raspon specifikacija	Napomene / Standardna konfiguracija
Krajnji osnovni tlak	< 5.0 × 10^-6 Pa	Postiže se pomoću kriogenih ili turbo{0}}molekularnih pumpnih grupa
Dimenzije komore	Prilagođeno (500 mm do 1200 mm unutarnjeg promjera)	Nehrđajući čelik 304L / 316L, elektro -polirani
E-Ocjena snage pištolja	6 kW do 15 kW (više-džepni generatori za čišćenje)	Programabilno skretanje snopa i indeksiranje s više-lončića
Stopa taloženja	0,1 nm/s do 10 nm/s	Upravljanje-zatvorenom{1}}petljom u stvarnom vremenu putem monitora s kvarcnim kristalom
Ujednačenost debljine filma	< ±1% to ±2% across standard substrates	Planetarni ili kupolasti nosač supstrata s promjenjivom brzinom rotacije
Temperatura podloge	Ambijentalna do 800 stupnjeva	Integrirano grijanje zračenjem s PID toplinskom povratnom spregom

Ključne značajke opreme

Visoko{0}}stabilni elektronski top:

Odlikuje se magnetskom defleksijom i više{0}}točkastim fokusiranjem kako bi se spriječilo lokalno pregrijavanje izvornih materijala i eliminiralo pljuvanje tijekom reaktivnog isparavanja.

Modularni dizajn lonca:

Opremljen s 4 do 6-džepnih izmjenjivih žarišta, što omogućuje višeslojno taloženje bez prekida vakuuma.

Napredna blokada vakuuma:

PLC-kontrolirani pneumatski ventili, automatizirana gruba obrada/visoki{1}}vakuum sekvencioniranje i blokade štite od kvara rashladne vode i anomalija napajanja.

Komora niske-kontaminacije:

Unutarnji štit koristi elektro -polirani nehrđajući čelik s uklonjivim oblogama za brzo smanjenje čestica i održavanje.

Filmski materijali i podloge

Kompatibilni materijali za isparavanje

Metali: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielektrici i oksidi: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO

Vrste supstrata

Silikonske pločice (2 do 12 inča)
Optičko staklo, taljeni silicij i kvarcni supstrati
Fleksibilne polimerne folije (poliimid, PET putem modula-na-rolu)
Keramičke podloge (Al2O3, AlN)

Prijave

High Vacuum Electron Beam Evaporation Equipment

Optički premazi:

Anti{0}}premazi (AR), usko-pojasni filtri i zrcala visoke-refleksije za laserske i fotoničke sustave.

Electron Beam Thin Film Deposition System

Poluvodički uređaji:

Formiranje ohmičkog kontakta, metalizacija vrata i-obrada uzdizanja za mikroelektroniku.

Electron Beam Vacuum Evaporation Equipment

Optoelektronika:

Transparentni vodljivi oksidni (TCO) slojevi i tanki filmovi za OLED zaslone i fotonaponske ćelije.

Electron Beam Evaporation Thin Film System

Napredno istraživanje i razvoj:

Istraživački magnetski slojevi tankog{0}}sloja, supravodljivi filmovi i više{1}}slojne heterostrukture.

Prilagodba i konfiguracija sustava

Svaki-sustav tankog filma konfiguriran je tako da odgovara određenim procesnim receptima i rasporedu postrojenja. Dostupne inženjerske prilagodbe uključuju:

Odabir skupa za pumpanje:

Turbo-molekularne pumpe (TMP), kriopumpe ili konfiguracije-difuzije ulja prilagođene zahtjevima osnovnog vakuuma i protoka.

Učitaj-integraciju zaključavanja:

Ručno učitavanje-zaključavanje ili automatizirani više-komorni klaster sustavi za održavanje ultra-visokog vakuumskog integriteta i povećanje protoka pločica.

In-Mjeriteljstvo na licu mjesta:

Integracijski priključci za spektroskopske elipsometre, optičke monitore ili analizatore zaostalog plina (RGA).

Kontrolni softver:

Vlasničko PLC/HMI sučelje sa pohranom recepata, zapisom podataka i SECS/GEM komunikacijskim protokolima za integraciju pametne tvornice.

Proizvodnja i kontrola kvalitete

01.

Izrada posude:

Sve vakuumske komore podvrgavaju se ispitivanju curenja helijskim masenim spektrometrom s pragom odbijanja od < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.

02.

Integritet zavara:

TIG zavarivanje izvedeno pod zaštitom od inertnog plina, nakon čega slijedi pasivizacija unutarnje površine i mehaničko poliranje kako bi se smanjilo ispuštanje plinova.

03.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):

72-satno kontinuirano suho-testiranje mjerenje krivulja pumpanja, preciznosti zamaha e-pištolja, vremena odziva blokade i toplinske stabilnosti prije stavljanja u sanduk.

04.

Sukladnost i standardi:

Proizveden prema ISO 9001 certificiranom sustavu upravljanja kvalitetom, sa sustavima projektiranim da zadovolje CE direktive i relevantne SEMI (S2/S8) sigurnosne i ergonomske smjernice.

Instalacija i tehnička podrška

Puštanje u rad na-licu mjesta:

Tvornički-certificirani servisni inženjeri rukuju mehaničkim postavljanjem, priključkom na struju (struja, rashladna voda, komprimirani zrak) i početnim vakuumskim pečenjem-.

Podešavanje procesa:

Zajednička probna izvođenja pomoću-supstrata koje je odredio kupac za provjeru stopa taloženja, ujednačenosti i prianjanja filma.

Održavanje životnog ciklusa:

Zajamčena dostupnost rezervnih dijelova za visoko{0}}istrošene komponente (filamenti, lonci, štitnici) i daljinska dijagnostička podrška putem šifriranih industrijskih VPN veza.

FAQ

P: Koje je tipično vrijeme isporuke za standardnu konfiguraciju sustava?

O: Standardne konfiguracije isporučuju se unutar 16 do 20 tjedana od odobrenja crteža. Visoko prilagođeni sustavi koji zahtijevaju posebne konfiguracije brave za opterećenje-ili ne-standardnu geometriju komore u rasponu su od 24 do 30 tjedana.

P: Kako spriječiti unakrsnu-kontaminaciju materijala između različitih isparivača?

O: Sustav koristi pojedinačne vodom{0}}hlađene džepove ložišta odvojene toplinskim i fizičkim barijerama, u kombinaciji s optimiziranim obrascima zahvata elektronske zrake koji eliminiraju prskanje materijala.

P: Koji su komunalni zahtjevi objekta za sustav od 10 kW?

A: Requirements typically include 3-phase 380V/480V AC power, closed-loop chilled water supply (10–15°C, flow rate >30 L/min), i suhi komprimirani zrak (0,6–0,8 MPa) za pneumatske ventile.

Poznati smo-kao jedan od vodećih proizvođača i dobavljača tankoslojne opreme za isparavanje elektronskim snopom u Kini. Ako namjeravate kupiti prilagođenu tankoslojnu opremu za isparavanje elektronskog snopa proizvedenu u Kini, dobrodošli ste da dobijete cjenik iz naše tvornice. Za savjetovanje o cijeni, kontaktirajte nas.