Kina Proizvođači opreme za tanki film za lučno isparavanje Dobavljači Tvornica

Pregled proizvoda

Sustav industrijskog katodnog luka za isparavanje proizvodna je-platforma za fizičko taloženje iz pare (PVD) projektirana za nanošenje tvrdih premaza-otpornih na habanje, koroziju-i niskog{3}}trenja. Upotrebom niskog-napona, jake-struje električnih lukova, čvrste katodne mete se trenutno isparavaju i ioniziraju na katodnoj točki, generirajući visoko ioniziranu metalnu plazmu.

Dizajniran i proizveden u skladu sa standardima upravljanja kvalitetom ISO 9001 i direktivama o usklađenosti s CE, ovaj sustav je konfiguriran za-postupke premazivanja visoke učinkovitosti u sektoru proizvodnje alata, automobilskih komponenti i industrijskog hardvera. Standardne konfiguracije integriraju rasporede s više-katoda s neovisnim upravljanjem magnetskim-poljem, programibilnim DC/pulsnim prednapajanjima i automatiziranom kontrolom vakuuma za održavanje dosljedne stehiometrije filma i guste mikrostrukture.

Sustav tankog filma lučnog isparavanja
Industrijski sustav tankog filma s katodnim lukom za isparavanje dizajniran je za visoko{0}}taloženje gustih, čvrsto prianjajućih metalnih, legura i keramičkih prevlaka. Djelujući putem...
vidi više
PVD oprema za isparavanje luka
Industrijski PVD sustav isparavanja s katodnim lukom koristi električne lukove niske-napona,-jake struje za isparavanje čvrstih katodnih meta u vakuumskom okruženju. Ovaj mehanizam postiže stopu...
vidi više
Sustav tankog filma vakuumskog luka
Sustav tankog filma s industrijskim vakuumskim lukom koristi isparavanje katodnim lukom za polaganje gustih, visoko prianjajućih metalnih, legura i keramičkih tankih filmova. Luk visoke-struje,...
vidi više
Oprema za tankoslojni katodni luk
Sustav fizičke parne depozicije (PVD) koji koristi lokalizirane električne lukove niske-napona,-struje za isparavanje čvrstih katodnih meta u potpuno ioniziranu plazmu. Visoka stopa ionizacije...
vidi više
Oprema za taloženje isparavanjem u luku
Industrijska platforma za fizičko taloženje iz pare (PVD) projektirana za-brzu sintezu gustih,-otpornih na trošenje i funkcionalnih tvrdih premaza. Održavanje visoke-struje, niskog{4}}napona...
vidi više
Oprema za tanki film za lučno isparavanje
Ovaj sustav za isparavanje s katodnim lukom isparava čvrste katodne mete pomoću električnog luka niske-napona i visoke-struje kako bi se stvorila potpuno ionizirana metalna plazma. U usporedbi sa...
vidi više

Tehničke specifikacije

Parametar	Raspon specifikacija / standardna konfiguracija
Dimenzije komore	Promjer: 800 mm - 1800 mm (prilagodljivi okomiti/vodoravni rasporedi)
Materijal komore	SUS304 nehrđajući čelik s dvostrukim-stjenkama s unutarnjim vodenim{2}}kanalima za hlađenje
Krajnji vakuumski tlak	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Konfiguracija katode	4 do 12 izvora pravokutnog/kružnog luka s elektromagnetskim upravljanjem
Napajanje luka	300A - 500Podesiva konstantna struja, valovitost<= 2%
Snaga pristranosti supstrata	0 do -1000 V podesivo, pulsirajuća prednaponska frekvencija 10 kHz - 100 kHz
Sustav grijanja	Niz zračećih grijača, maksimalna ujednačenost temperature 600 stupnjeva +/- 5 stupnjeva
Rotacija obratka	Planetarna rotacija ili rotacija s dvije{0}}osi koju pokreće magnetska tekućina
Kontrolni sustav	PLC + industrijsko računalo, automatizirano upravljanje slijedom-na temelju recepta
Zahtjevi za komunalne usluge	Rashladna voda: 0,25-0,35 MPa, 20-25 stupnjeva; Napon: 380V/480V, 3-fazni, 50/60 Hz

Proces lučnog isparavanja

Ciklus taloženja radi pod strogom proceduralnom kontrolom kako bi se zajamčila cjelovitost filma i prianjanje sučelja:

Evakuacija i ispuštanje plinova:

Vakuumska komora se pumpa do osnovnog tlaka. Podloge se zagrijavaju pod vakuumom kako bi se uklonile hlapljive tvari s površine i zaostala vlaga.

Plazma jetkanje (čišćenje):

Bombardiranje metalnim ionima (koristeći ciljne izvore od titana ili kroma) čisti površinu supstrata na atomskoj razini, uklanjajući prirodne okside i aktivirajući sučelje.

Reaktivno taloženje:

Reaktivni plinovi (N2, CH4, O2) ubrizgavaju se u komoru kroz kontrolere masenog protoka (MFC) kako bi reagirali s protokom metalne plazme (npr. Ti, Cr, AlTi), tvoreći složene filmove kao što su TiN, TiAlN ili CrN.

Hlađenje i ventilacija:

Hlađenje nakon-taloženja događa se u atmosferi zaštitnog inertnog plina prije odzračivanja komore i preuzimanja dijelova.

Filmski materijali i podloge

Podržane katodne mete
Titan (Ti) i titan-aluminij (TiAl):Osnovni materijali za standardne TiN i TiAlN premaze visoke-otpornosti{1}}na oksidaciju (podnose oksidaciju do 900 stupnjeva).

Krom (Cr):Koristi se za dekorativne završne obrade i CrN/CrC slojeve -otporne na koroziju.

Cirkonij (Zr) i titan silicij (TiSi):Primjenjuje se za specijalizirane dekorativne i nanokompozitne filmove-otporne na ekstremno habanje.

Kompatibilni materijali za podlogu
Brzorezni-čelik (HSS):Spiralna svrdla, završna glodala, ploče za kuhanje i pletenice.

Cementirani karbidi (WC-Co):Izmjenjivi umeci, razvrtala i kalupi za oblikovanje.

Građevinski čelici i legure:Komponente automobilskih ventila, zupčanici, sanitarna oprema od nehrđajućeg čelika i medicinski implantati od titana.

Aplikacije i učinak na izvedbu

Alati za rezanje metala:

Nanošenje TiAlN i AlCrN premaza na karbidne umetke i čejna glodala, produžujući životni vijek alata za 200% do 300% i omogućavajući suhu obradu velikom-brzinom.

Matrice za oblikovanje i štancanje:

Primjena gustih premaza s niskim-trenjem za smanjenje trošenja ljepila, žuljanja i lijepljenja obratka tijekom dubokog izvlačenja, smanjujući vrijeme zastoja do 40%.

Automobilski pogonski sklop:

Obrada klipnih prstenova, igala za ubrizgavanje goriva i podizača kako bi se koeficijent graničnog trenja smanjio na < 0,15 i spriječilo habanje.

Industrijska oprema i sanitarna slavina:

Tvrdi dekorativni PVD slojevi (TiN zlato, ružičasto zlato, crni cirkonij) prolaze najmanje 500-satni neutralni test slanog spreja (ASTM B117).

Prilagodba i konfiguracija procesa

Rasporedi opreme skaliraju se prema obujmu proizvodnje, geometriji dijelova i otisku tvornice:

Geometrija komore:

Okomite konstrukcije za utovar teških alata; horizontalne šaržne konfiguracije za-učitavanje učvršćenja visokog kapaciteta.

Integracija izvora:

Hibridne konfiguracije koje kombiniraju izvore katodnog luka s katodama neuravnoteženog magnetronskog raspršivanja (RMS) za taloženje glatkih višeslojnih arhitektura-bez kapljica.

Sustavi filtriranja:

Dodatni magnetski filtri makročestica (filtri s upravljanim lukom) instalirani na katodnim kanalima za uklanjanje makro{0}}kapljica za optičke ili ultra-glatke precizne funkcionalne premaze.

Sučelje automatizacije:

Integracija-spremna za robotske ruke za utovar i automatizirano vođeno vozilo (AGV).

Proizvodnja i kontrola kvalitete

Strukturni integritet:Tijela komore podvrgavaju se ispitivanju curenja helijevim masenim spektrometrom na pragu osjetljivosti od<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Električna sigurnost i sukladnost:Izrađen strogo u skladu sa smjernicama za električnu sigurnost CE i IEC, s punim ispitivanjem izolacije i sigurnosnim blokadama u slučaju nužde.

Funkcionalno otjecanje (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell uvlačenje HF1-HF2) provjeravaju se na standardnim testnim kuponima prije otpreme.

Instalacija i tehnička podrška

Paket za pripremu mjesta:

Sveobuhvatni nacrti rasporeda komunalnih usluga koji detaljno opisuju protok rashladne vode, ispušnu ventilaciju, nosivost poda i specifikacije električnog pada dostavljeni 4 tjedna nakon-ugovora.

Puštanje u rad na-licu mjesta:

Tvornički-certificirani procesni inženjeri bave se mehaničkim poravnavanjem, vakuumskim otkrivanjem curenja, električnom integracijom i početnim osnovnim postavljanjem recepture u postrojenju klijenta.

Prijenos recepta procesa:

Isporuka uključuje standardne osnovne recepte (TiN, TiAlN, CrN) i operativnu obuku za unutarnje održavanje i inženjerske timove.

Daljinska dijagnostička podrška:

Sustavi opremljeni sigurnim industrijskim usmjerivačima za daljinsko rješavanje problema s parametrima i PLC logičku dijagnostiku.

FAQ

P: Kako sustav kontrolira stvaranje makročestica (kapljica) svojstveno isparavanju luka?

O: Oprema koristi podesive zavojnice za upravljanje magnetskim poljem za brzo pomicanje točke katodnog luka preko ciljane površine, smanjujući vrijeme zadržavanja i izbacivanje kapljica. Za primjene koje zahtijevaju ultra-glatke završne obrade, dodatni moduli s filtriranim lukom magnetski skreću metalnu plazmu od makročestica prije nego što dođu do podloge.

P: Koja je tipična ciljana stopa iskorištenja za standardnu konfiguraciju katode?

O: Standardne kružne i pravokutne katode postižu stopu iskorištenja ciljanog materijala od 40% do 55%, ovisno o profilu magnetskog polja i debljini cilja. Zamjena mete mehanički je osigurana brzim-mehanizmom stezanja kako bi se minimaliziralo vrijeme prekida održavanja.

P: Može li se ova oprema integrirati u postojeću automatiziranu proizvodnu liniju?

O: Da. PLC upravljačka arhitektura podržava SECS/GEM komunikacijske protokole i standardno digitalno I/O rukovanje za integraciju s automatiziranim linijama za pred{1}}čišćenje i robotskim ćelijama za punjenje.

P: Koje je standardno vrijeme isporuke za prilagođenu konfiguraciju komore?

O: Standardni vertikalni šaržni sustavi zahtijevaju 16 do 22 tjedna od odobrenja crteža do tvorničkog ispitivanja prihvatljivosti (FAT), ovisno o prilagođenim specifikacijama pumpne grupe i aranžmanima napajanja.

Poznati smo-kao jedan od vodećih proizvođača i dobavljača tankoslojne opreme za lučno isparavanje u Kini. Ako namjeravate kupiti prilagođenu opremu za lučno isparavanje tankog filma proizvedenu u Kini, dobrodošli ste da dobijete cjenik iz naše tvornice. Za savjetovanje o cijeni kontaktirajte nas.

Tanka filmska oprema za senzorske primjene, oprema za mjerenje hrapavosti tankog filma, Tanka oprema za raspršivanje filma