Serija EBE-V600 industrijska je{2}}platforma za fizičko taloženje iz pare (PVD) dizajnirana za precizno premazivanje tankim-slojem optičkih komponenti, poluvodičkih uređaja i naprednih materijala. Usmjeravanjem visoko{5}}energetskog, magnetski fokusiranog snopa elektrona na izvorne materijale unutar vodom-hlađenih lonaca, sustav postiže brze stope isparavanja dok toplinska opterećenja ostaju izolirana od stijenki komore.

Arhitektura uključuje više-džepne izvore elektrona i dualne kvarcne kristalne mikrovage (QCM) senzore, osiguravajući stehiometrijsku vjernost filma i dosljednu kontrolu debljine na više-slojnim dielektričnim ili metalnim hrpama.

Tehničke specifikacije

Tehnički parametar	Specifikacija Vrijednost
Geometrija i materijal komore	Φ600 mm x 600 mm cilindrična posuda; SS304 elektropolirana unutrašnjost s vanjskim rashladnim vodenim jaknama
Krajnji osnovni tlak	<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping)
Vrijeme ciklusa-ispumpavanja	<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa)
Snaga elektronskog pištolja	6 kW do 12 kW multi{2}}džepna konfiguracija s otklonom snopa od 270 stupnjeva
Kapacitet ognjišta	4 do 6 džepova (izmjenjivi bakreni/grafitni tiglovi, 15 cc do 40 cc volumena po džepu)
Rotacija faze supstrata	Planetarni ili izravni pogon promjenjive brzine od 0 do 30 okretaja u minuti
Raspon grijanja podloge	Ambijentalno do 600 stupnjeva preko PID niza halogenih žarulja sa zatvorenom{1}}petljom
Praćenje debljine	Dvostruki QCM senzori s automatskom kontrolom zatvarača

Ključne značajke

270 stupnjeva magnetskog otklona E-Gun:Izolira volframovu nit od izravnih puteva pare, sprječavajući kratki-spoj i produžujući vijek trajanja između intervala održavanja.

Digitalna kontrola čišćenja:Programabilni rasterski uzorci ravnomjerno raspoređuju energiju elektrona po površini koja isparava, smanjujući stvaranje rupica i preferirano isparavanje tijekom taloženja legure.

Razdvojena vakuumska arhitektura:Linije za grubu obradu i visoko{0}}vakuumsko pumpanje strukturalno su izolirane od okvira glavne komore kako bi se suzbio prijenos mehaničkih vibracija tijekom rasta filma.

Sigurnosna matrica hardverske blokade:PLC nadgledanje protoka rashladne vode u stvarnom-vremenu, visoko{1}}naponske povratne informacije, pneumatskog tlaka i integriteta brtve na vratima.

Konfiguracija vakuumskog sustava

Vakuumski pod-krug projektiran je za brzo kruženje i nizak bazni tlak kako bi se ugrađivanje zaostalog plina (H2O, O2, N2) u rastućim filmovima svelo na minimum:

Visok{0}}vakuumska pumpa:Turbo{1}}molekularna pumpa od 1200 L/s potpomognuta dvo-stupanjskom rotirajućom pumpom s lopaticama (ili konfiguracijom pumpe sa suhim spiralom za usklađenost s čistim prostorima).

Odvojni ventil:Pneumatski pokretani zaporni ventil visoke{0}}vodljivosti koji izolira komoru tijekom operacija opterećenja.

Mjerenje vakuuma:Kombinirani ionizacijski mjerači Pirani i hladne katode koji pokrivaju kontinuirani raspon od atmosfere do 10^-6 Pa.

Filmski materijali i podloge

Kompatibilni izvori isparavanja

Oksidi i dielektrici:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2

Čisti metali:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni

Poluvodiči i vodiči:Si, Ge, ITO (Indijev kositar oksid)

Prijave

Filtri optičkih smetnji:Visoko-indeksno i nisko{1}}indeksno više{2}}slojno taloženje za usko-pojasne filtre i laserska zrcala.

Izrada poluvodičkih uređaja:Stvaranje omskog kontakta, taloženje oksida na vratima i metalni slojevi klica.

OLED i istraživanje zaslona:Taloženje tanke metalne katode i testovi više{0}}slojne organske/anorganske pasivacije.

Tvrdi vatrostalni premazi:Zaštitni slojevi-otporni na habanje za mehaničke i zrakoplovne komponente.

Prilagodba

Proširenje komore:Produžene visine posuda ili pravokutne geometrije prilagođene za integraciju alata u klasteru.

Integracija izvora:Istodobni izvori toplinskog isparavanja (otporni čamci) u kombinaciji s elektronskim topovima.

Ionsko -potpomognuto taloženje (IAD):Integracija end-Hallovog ili Kaufmanovog izvora iona za zgušnjavanje filma i podešavanje naprezanja.

Arhitektura softvera:PLC/HMI programiranje recepata u skladu sa Siemens S7 ili Beckhoff okvirima za automatizaciju.

Kontrola kvalitete

Ispitivanje curenja helija masenim spektrometrom:Svaki komorni zavar testiran je na prag odbacivanja od < 1 x 10^-9 Pa·m3/s prije integracije.

Električna usklađenost:-Testovi otpornosti dielektrika visokog napona i provjera kontinuiteta uzemljenja prema CE/UL smjernicama.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):72-satno kontinuirano suho-testiranje karotaže krivulja osnovnog tlaka, ponovljivost prelaska e-zrake i vremena odziva za blokiranje. Testna dokumentacija isporučena s jedinicom.

Instalacija i tehnička podrška

Puštanje u pogon gradilišta:Tvornički-certificirani inženjeri upravljaju mehaničkim poravnavanjem, provjerom curenja vakuuma, nadzorom priključka na struju i početnim kalibracijskim izvođenjima.

Tehnička obuka:3-dnevna obuka o radu i protokolu održavanja na licu mjesta koja pokriva zamjenu žarne niti, obnovu vakuumskog ventila i uređivanje recepata.

Isporučiva dokumentacija:Cjeloviti tehnički registratori uključujući P&ID sheme, dijagrame električnog ožičenja, sigurnosne datoteke PLC-a i popis rezervnih dijelova.

Često postavljana pitanja

P: Koliki je radni vijek e-volframove žarne niti i kako se servisira?

O: Pod standardnim radnim tlakom (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.

P: Kako sustav sprječava pljuvanje tijekom taloženja oksida?

O: Generator digitalnog sweep-a distribuira energiju elektrona preko izračunate rasterske matrice na kuglici oksida. Time se eliminira lokalno pregrijavanje, sprječava eksplozivno ključanje i suzbija izbacivanje mikro-kapljica.

P: Koja je komunalna infrastruktura obavezna na mjestu postavljanja?

A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, temperatura od 18 do 25 stupnjeva.
Električna mreža: 3-faze, 380V ± 10%, 50/60 Hz (ili tvornički konfigurirano prema regionalnim standardima).
Komprimirani zrak: suhi zrak od 0,5 MPa do 0,7 MPa za aktuatore pneumatskih ventila.

P: Je li daljinski dijagnostički pristup integriran u sustav upravljanja?

O: Da. Izolirani Ethernet priključak podržava sigurnu VPN vezu za daljinsko dohvaćanje dnevnika PLC-a i rješavanje problema sa softverom od strane našeg inženjerskog tima.

Popularni tagovi: tankoslojna oprema za isparavanje elektronskim snopom, proizvođači, dobavljači, tvornica opreme za tankoslojnu isparavanje elektronskim snopom, Sustav za obradu tankih filmova