Oprema za taloženje tankog filma elektronskim snopom

Ovaj industrijski sustav taloženja elektronskim snopom koristi magnetski fokusirane elektronske topove (3 kW do 15 kW) za usmjeravanje energetskih tokova visoke-gustoće u vodom-hlađena bakrena ložišta. Isparavanjem izvornih materijala visoke-čistoće pod visokim-vakuumskim uvjetima (krajnji bazni tlak < 5 x 10^-6 Torr), sustav formira jednolike, guste tanke filmove na poluvodičkim pločama, optičkom staklu i metalnim podlogama. Projektiran za proizvodna okruženja visoke propusnosti i laboratorije za napredne materijale koji zahtijevaju strogu stehiometrijsku kontrolu i ponovljivost filma.

Otklon magnetske zrake od 270 stupnjeva:Zakrivljena putanja zrake štiti emiter žarne niti od izravnog protoka pare, sprječava degradaciju emitera i minimizira visoko{0}}naponski luk.

Kontrola brzine taloženja zatvorene-petlje:Povratne-vremenske povratne informacije iz QCM sučelja s dvo-senzorom dinamički moduliraju izlaz napajanja, održavajući stabilne stope rasta (+/- 0.1 Angstrom/s).

Više{0}}džepno programabilno indeksiranje:Motorizirana kupola za lončić omogućuje sekvencijalno više{0}}slojno taloženje bez prekidanja vakuuma ili odzračivanja procesne komore.

Isprepleteno vakuumsko sekvenciranje:Automatizirani pneumatski zasuni i softverski-nametnute grube/visoke-vakuumske blokade štite osjetljive podloge i sprječavaju-vakuumske pogreške izazvane operaterom.

Podsustav grube obrade:Dvo{0}}stupanjska pumpa s rotirajućim lopaticama integrirana s-puhačem korijena velikog kapaciteta za brzi prijelaz iz atmosfere u grubi vakuum (< 10^-2 Torr).

Podsustav visokog-vakuuma:Turbomolekularna pumpa s magnetskom levitacijom (1200 L/s) povezana s dodatnom hladnom zamkom zatvorene -petlje ili kriopumpom za uklanjanje povratnog toka ugljikovodika.

Mjeriteljstvo i dijagnostika:Dual Pirani mjerači za provjeru linije grube obrade; Bayard-Alpert ionizacijski mjerači s vrućom katodom za visoko-praćenje vakuuma. Integrirani ISO-KF/ISO-F otvori za testiranje curenja helija standardno su na svim razdjelnicima.

Filtri za laserske i optičke smetnje:Taloženje više{0}}slojnih dielektričnih filtara zahtijeva precizno podudaranje indeksa loma i minimalno optičko raspršenje.

Izrada poluvodičkih uređaja:Formiranje omskih kontakata, sheme od-metalizacije i dielektrične izolacijske barijere vrata.

Istraživanje fotonapona i energije:Sinteza tamponskih slojeva i prozirnih vodljivih oksidnih (TCO) elektroda za napredne solarne ćelije.

Geometrija komore:Skalabilna veličina komore prilagođena velikim ravnim pločama ili specijaliziranim prilagođenim držačima supstrata.

Hibridizacija izvora:Mogućnosti integracije za ko-konfiguracije isparavanja, kombiniranje dvostrukih E--zraka ili hibridnih E--zraka/toplinskih otpornih izvora.

Integracija čiste sobe:Kroz-izglede zidne montaže (standardne ili žute-svijetle čiste sobe kompatibilne) sa stražnjim-pristupnim komunalnim i servisnim hodnicima.

Ispitivanje masenim spektrometrom helija:Svaka proizvedena vakuumska komora podvrgava se rigoroznom ispitivanju curenja -spektrometrom mase kako bi se osigurao osnovni prag od < 1 x 10^-9 Pa xm^3 / s.

Visok{0}}napon-izgaranja:Napajanje za E-pištolj podvrgnuto je neprekidnom 48-satnom radnom-in testu dielektrične čvrstoće pod uvjetima punog opterećenja.

Mjeriteljstvo dimenzija:Provjera koordinatnog mjernog stroja (CMM) koja se koristi za ko-planarnost nosača podloge i tolerancije-na-poravnanje pištolja.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):Isporučuje se s opsežnim dokumentacijskim paketima, uključujući zapisnike verifikacije taloženja materijala, krivulje-ispumpavanja i izvješća o ispitivanju električne sigurnosti.

Puštanje u rad na-licu mjesta:Tvornički-certificirani terenski inženjeri usmjeravaju mehaničku opremu, priključke na komunalne mreže (struja, voda i plin) i početnu dijagnostiku integriteta vakuuma.

Program obuke operatera:Strukturirana -obuka na licu mjesta koja pokriva sigurnosne blokade sustava, tijekove rada zamjene katode/žarna i programiranje HMI recepata.