Sustav tankog filma-potpomognutog isparavanja

Sustav tankog filma potpomognutog ionskom{0}}evaporacijom (IAE) integrira fizičko taloženje parom (PVD) s bombardiranjem energetskim ionskim snopom. Tijekom toplinskog ili-isparavanja snopom elektrona, pomoćni Kaufmanov ili End-Hallov izvor iona usmjerava ione argona ili reaktivnog plina na supstrat koji raste. Ovaj prijenos zamaha povećava pokretljivost adatoma, eliminira šupljine u obliku stupaca i daje guste filmove-stabilne na vlagu s indeksom loma gotovo-indeksa loma i minimalnim toplinskim pomakom.

Projektiran za proizvodna i istraživačka okruženja koja zahtijevaju strogu kontrolu nad optičkim konstantama i zaostalim naprezanjem, ovaj sustav prilagođava više-džepne elektronske pištolje, otporne isparivače i prilagodljive učvršćivače supstrata.

Prijenos-ionskog momenta u stvarnom vremenu:Ionsko -bombardiranje zgušnjava mikrostrukture, potiskujući upijanje vlage iz okoliša i promjenu indeksa loma. -SEM analiza poprečnog presjeka potvrđuje nultu pojavu stupčastih šupljina u hrpama oksida.

Regulacija brzine zatvorene-petlje:PID{0}}kontrolirani izvori napajanja povezuju se izravno s više-kanalnim Quartz Crystal Microbalance (QCM) senzorima za održavanje stabilnosti brzine taloženja unutar +/- 0.1 Å/s.

Toplinsko upravljanje s malim nedostatkom:Sklopovi radijacijskih grijača omogućuju prethodno-čišćenje supstrata i-in situ žarenje do 400 stupnjeva s ujednačenošću +/- 2.5 stupnjeva.

Brzo-održavanje:Brzi{0}}prirubnice izvora i modularni sklopovi ionske-rešetke omogućuju potpuno interno održavanje i ciljano ponovno punjenje u manje od 2 sata, smanjujući neplanirane zastoje u čistim sobama.

Pumping Stack:Pomoćna pumpa (Roots + rotirajuća lopatica) uparena s turbomolekularnim pumpama visokog-protoka (kapaciteta 1600 L/s) ili kriopumpama (1500 L/s) projektiranim za rukovanje opterećenjem reaktivnog plina tijekom-brzinskih IAE procesa.

Ventili i brtvljenje:Pneumatski zasuni i viton/metalne dvostruke -brtve izoliraju procesnu komoru od grubih vodova, sprječavajući povratni tok ugljikovodika.

Tlačne blokade:Automatizirano PLC sekvenciranje nadzire prednji tlak, protok vode za hlađenje i dovod komprimiranog zraka prije aktivacije visoko{0}}naponskog E-zračnog pištolja.

Materijali za isparavanje:Oksidi (TiO2, ZrO2, SiO2, Al2O3), fluoridi (MgF2) i metali visoke-čistoće (Au, Ag, Al, Ti).

Materijali supstrata:Optičko staklo (BK7, taljeni silicij), silikonske pločice (do 300 mm), složeni poluvodiči (GaAs, InP) i keramika/metali.

Učvršćivanje:Prilagođeno-strojno izrađeni držači podloga od aluminija ili nehrđajućeg čelika dizajnirani za toplinsku vodljivost i minimalno stvaranje čestica tijekom rotacije planeta.

Serija-O (precizna optika):Optimizirano za više{0}}slojne filtre optičkih smetnji, laserska zrcala i AR premaze. Integriran sa širokopojasnim optičkim nadzorom (OMS) i planetarnom rotacijom velike-gustoće kako bi se osigurao spektralni pomak < 0,1% pod promjenama vlažnosti okoline.

Serija-S (pakiranje poluvodiča i senzori):Projektiran za niske{0}}metalne početne slojeve i dielektričnu pasivizaciju na silikonskim pločicama od 200 mm/300 mm s kompatibilnošću-opterećenja-zaključavanjem čestica.

Serija-R (Istraživanje i razvoj / Napredno istraživanje materijala):Vrlo fleksibilna arhitektura komore koja podržava dvostruke ionske izvore i brzu izmjenu -paluba izvora za sveučilišne laboratorije i korporativne centre za istraživanje i razvoj.

Dimenzije komore:Prilagođeni unutarnji volumeni u rasponu od 600 mm do 1200 mm promjera.

Razine automatizacije:Polu-automatski PLC recepti ili potpuno nenadzirani recepti kontrolirani putem industrijskog SCADA softvera-zaslona osjetljivog na dodir s Audit Trailom (opcije sukladne 21 CFR Part 11 dostupne za medicinsku/senzorsku proizvodnju).

Dijagnostički priključci:Dodatne NW/CF prirubnice dodijeljene za-in situ spektroskopsku elipsometriju ili analizatore zaostalog plina (RGA).

Detekcija curenja:Svaka vakuumska komora podvrgava se ispitivanju curenja pomoću spektrometra mase helija do praga od < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s prije puštanja u promet u tvornici.

Mikrostrukturna validacija:Standardna provjera kvalitete uključuje opcionalnu SEM inspekciju presjeka za provjeru gustoće filma i strukturne ujednačenosti.

Električna sigurnost:Visok{0}}otpor izolacije napona, kontinuitet uzemljenja i ispitivanje odziva blokade izvršeno prema standardima CE/SEMI S2.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):Dovršeno u našem proizvodnom pogonu; klijenti dobivaju osnovno izvješće o radu koje potvrđuje osnovni tlak, stabilnost stope taloženja i izlaz ionske struje.

Ispitivanje prihvatljivosti lokacije (SAT):In-inženjeri na licu mjesta nadziru opremu, priključke na struju (voda za hlađenje, struja, komprimirani zrak, procesni plinovi) i kalibraciju.

Dokumentacija:Opsežni servisni priručnici uključuju električne sheme, izvorne logičke oznake PLC-a, dijagrame vakuumskih cjevovoda i popise potrošnih dijelova.