Ovaj više-lučni sustav ionske ploče koristi isparavanje katodnog luka za nanošenje gustih tvrdih premaza visoke-adhezije i funkcionalnih tankih filmova. Udaranjem luka visoke -struje i niskog{4}}napona na čvrste katodne mete, materijal se trenutno isparava i ionizira u okruženju visokog-vakuuma. U kombinaciji s reaktivnim plinovima (N2, O2 ili C2H2), sustav sintetizira stehiometrijske složene prevlake izravno na metalnim ili ne-metalnim podlogama. Projektirana za kontinuiranu industrijsku proizvodnju, arhitektura osigurava stabilno širenje luka, preciznu kontrolu stehiometrije i ponovljive performanse filma od serije do -serije.

Tehničke specifikacije

Parametar	Specifikacija Raspon / Vrijednost
Dimenzije komore	Prilagođeni promjeri od Phi 800 mm do Phi 2000 mm (Okomiti ili vodoravni raspored)
Krajnji vakuumski tlak	<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination)
Vrijeme-zastoja pumpe	Atmosferski tlak do 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber)
Izvori katodnog luka	4 do 16 pravokutnih ili kružnih filtriranih/nefiltriranih izvora luka
Bias napajanje	Pulse Bias Power (0 do -1000 V podesivo, frekvencija 10 do 100 kHz)
Rotacija podloge	Planetarni rotacijski mehanizam s pogonom promjenjive brzine i neovisnim grijanjem
Sustav grijanja	Niz zračećih grijača od nehrđajućeg čelika; maksimalna temperatura 600 stupnjeva C (+/- 5 stupnjeva C ujednačenost)
Kontrolni sustav	PLC + industrijsko računalo; automatizirano izvršenje recepta s ručnim nadjačavanjem
Priključno opterećenje	80 kW do 250 kW (ovisno o volumenu komore i broju izvora)

Ključne značajke

Tehnologija filtriranog katodnog luka:Opremljen magnetskim upravljanjem poljem i kanalima za filtriranje makro-čestica (kapljica) za uklanjanje površinskih nedostataka, dajući ultra-glatke završne obrade za precizne komponente.

Kontrola reaktivnog plina zatvorene-petlje:Kontrolori masenog protoka (MFC) povezani s ukupnim tlakom i povratnom spregom optičke emisije održavaju stabilne parcijalne tlakove tijekom sinteze reaktivnog spoja.

Više{0}}pogon planetarnog učvršćenja s više osi:Neovisne rotacijske i revolucijske osi osiguravaju ravnomjerno bombardiranje ionima i raspodjelu debljine premaza u složenim tro{0}}dimenzionalnim geometrijama.

Modularni vakuumski vodovod:ISO-standardni razdjelnici od elektro-poliranog nehrđajućeg čelika smanjuju ispuštanje plinova i pojednostavljuju intervale rutinskog održavanja.

Sljedivost skupnih podataka:Automatizirano bilježenje tlaka u komori, prednapona supstrata, struje luka i protoka plina za sveobuhvatnu reviziju kvalitete.

Konfiguracija vakuumskog sustava

Vakuumski pod-sustav projektiran je za brzo kruženje i robusno rukovanje nusproduktima procesa:

Faza grube obrade:Pumpe s rotirajućim krilcima ili suhe vijčane pumpe uparene s Roots puhalima za-generiranje grubog vakuuma bez ulja.

Stupanj visokog vakuuma:Difuzijske pumpe s hladnim zamkama s tekućim dušikom ili Turbo-molekularne pumpe visokog-protoka (TMP), odabrane na temelju zahtjeva čistih prostorija i ciljanog vremena ciklusa.

Ventili i mjerači:Pneumatski zasuni i visoko{0}}pouzdani izolacijski ventili. Vakuumsko mjerenje punog- raspona korištenjem Piranijevih i vruće katodnih ionizacijskih mjerača integriranih u sigurnosni PLC s blokadom.

Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge

Katode za isparavanje
Čisti metali:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl legure, nehrđajući čelik.

Legure/spojevi:Prilagođene sinterirane mete formulirane za specijaliziranu tvrdoću, koeficijente trenja i otpornost na oksidaciju.

Materijali supstrata
Alatni čelici:-brzorezni čelik (HSS), umetci od volfram karbida, čelici za kalupe za hladnu/vruću obradu.

Tehnički metali:Legure titana, konstrukcijski nehrđajući čelik, aluminij (koristeći odgovarajuću pret{0}}obradbu).

Tehnička keramika:Odabrana industrijska keramika koja zahtijeva pripremu vodljivog sučelja.

Prijave i specijalizirani slučajevi korištenja

Alati za rezanje i oblikovanje
Vrste premaza:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.

Utjecaj na izvedbu:Značajno povećava tvrdoću površine (do 3000+ HV), smanjuje koeficijent trenja i otporan je na toplinsku oksidaciju. Dokazano produljuje radni vijek svrdla, čeonih glodala, glodala za kuhanje i matrica za utiskivanje u uvjetima velike-brzine strojne obrade.

Automobilske komponente
Prijave:Klipni prstenovi, podizači, dijelovi za ubrizgavanje goriva i ukrasni ili funkcionalni vanjski okovi koji zahtijevaju otpornost-na trošenje i koroziju.

Medicinski instrumenti
Prijave:Biokompatibilni TiN i TiCN premazi na kirurškim skalpelima, vijcima za kosti i zubnim implantatima za povećanje površinske pasivizacije i izdržljivosti na habanje.

Prilagodba

Sustavi su projektirani tako da odgovaraju specifičnim proizvodnim tragovima i parametrima procesa:

Veličina komore:Prilagođeni unutarnji promjeri i visine prilagođeni maksimalnim dimenzijama serije i težinama učvršćenja.

Konfiguracija izvora:Hibridne kombinacije lučnih izvora i planarnih magnetronskih katoda za raspršivanje za višeslojne i nanokompozitne arhitekture.

Razina automatizacije:Polu-automatizirane samostalne ćelije ili potpuno integrirane proizvodne linije kompatibilne s robotskim sustavima za utovar.

Kontrola kvalitete

Ispitivanje curenja helijem:Svaka vakuumska komora podvrgava se strogom ispitivanju curenja masenim spektrometrom prije puštanja u promet (stopa curenja<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Električna sigurnost:Upravljački ormarići izrađeni prema standardima usklađenosti s CE / UL s potpuno povezanim sigurnosnim krugovima.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):-Test prije otpreme radi provjeru konačnog tlaka, ujednačenosti temperature grijača i održive stabilnosti paljenja luka tijekom neprekidnog ciklusa od 24 sata.

Instalacija i tehnička podrška

Smjernice za pripremu mjesta:Sveobuhvatna dokumentacija o rasporedu komunalnih usluga koja pokriva protok/tlak rashladne vode, komprimirani zrak, ispušnu ventilaciju i padove snage.

Puštanje u rad na-licu mjesta:Iskusni procesni i strojarski inženjeri poslani za strukturno poravnanje, provjeru curenja vakuuma, električno povezivanje-i primopredaju osnovnog recepta.

Obuka operatera:Praktična obuka- koja pokriva rutinsko održavanje, zamjenu katodne mete i rješavanje problema s PLC-om.

Daljinska dijagnostika:Sigurna integracija VPN modula za-ažuriranje softvera u stvarnom vremenu, analizu parametara i brzu{1}}dijagnostiku kvarova.

FAQ

P: Koja je primarna prednost multi{0}}lučnog ionskog nanošenja u usporedbi s konvencionalnim magnetronskim raspršivanjem?

O: Isparavanje katodnog luka osigurava visoku stopu ionizacije isparenog materijala (obično 30% do 80%), što rezultira iznimnom prionjivošću filma i visokim stopama taloženja. Idealno je prikladan za debele, tvrde keramičke premaze-otporne na habanje.

P: Kako kontrolirate problem makro{0}}čestica (kapljica) svojstven isparavanju luka?

O: Koristimo optimizirano upravljanje magnetskim poljem za brzo pomicanje točke luka preko ciljane površine, u kombinaciji s dodatnim kanalima za upravljanje filtriranim katodnim lukom (FCA) koji magnetski odbijaju ioniziranu paru dok hvataju makro-čestice.

P: Koji su uvjeti za instalaciju ove opreme?

A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) za pneumatske ventile i ventilaciju za procesne ispušne plinove. Posebni paketi pomoćnih crteža isporučuju se nakon potvrde narudžbe.

P: Može li ovaj sustav pokrenuti automatske više{0}}slojne ili gradijentne premaze?

O: Da. PLC i softver za upravljanje receptima omogućuju automatizirano sekvenciranje protoka plina, prednapona i vremena rotacije više-katoda za polaganje složenih više{2}}slojnih arhitektura ili gradijentnih prijelaznih slojeva.

Popularni tagovi: multi-arc ion tankoslojna oprema, Kina multi-arc ion tankoslojna oprema proizvođači, dobavljači, tvornica