Multi{0}}Arc Ion Thin Film System

Industrijski Multi{0}}Arc Ion Thin Film System koristi isparavanje katodnim lukom za nanošenje gustih keramičkih i metalnih premaza visoke -adhezije na podloge od metala i legura. Isparavanjem čvrstih katodnih materijala u vakuumskom okruženju putem električnih lukova visoke -struje, niskog{4}}napona, sustav ionizira paru metala u interakciji s reaktivnim plinovima (kao što su dušik, acetilen ili kisik) kako bi se formirali stehiometrijski filmovi spojeva.

Projektirana za kontinuirana proizvodna okruženja, ova platforma uključuje namjenske alate za serijsku obradu preciznih alata za rezanje, automobilskih komponenti i-industrijskog hardvera otpornog na habanje.

Magnetske-katode upravljačkog luka:Magnetska-polja zatvorene petlje vode putanju mrlje katodnog luka preko ciljne površine, povećavajući stope iskorištenja cilja na više od 60% i smanjujući stvaranje makro{2}}kapljica.

Bias za brzo suzbijanje luka:Visoko{0}}frekventni impulsni prednaponski izvori uključuju brze krugove-za gašenje luka kako bi se spriječilo da lokalizirani mikro-lukovi oštećuju površine supstrata tijekom reaktivnog taloženja.

Arhitektura taloženja s dvostrukim-načinom rada:Arhitektura sustava podržava brzu integraciju katoda za neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje (UMS) uz standardne izvore luka za taloženje hibridnog sloja (npr. gradijentnih slojeva).

Automatizirana kontrola procesa:PLC uparen s industrijskim računalom koji pokreće upravljački softver-temeljen na receptu, tlak u komori za snimanje, maseni protok plina (MFC), pristranost supstrata i struju luka u stvarnom vremenu za sljedivost serije.

Pneumatski vakuumski ventil:Pneumatski pokretani zasuni i kutni ventili izoliraju dijelove komore, smanjujući vrijeme zastoja zbog održavanja i cikluse-ispumpavanja.

Evakuacija sustava koristi više{0}}faznu konfiguraciju dizajniranu za postizanje radnog tlaka unutar 15 minuta:

Faza grube obrade:Dvo{0}}stupanjske mehaničke pumpe s rotirajućim lopaticama uklanjaju primarni atmosferski zrak do 10 Pa.

Srednja faza:Roots puhala ubrzavaju volumetrijsko pomicanje kako bi premostili raspon tlaka.

Stupanj visokog vakuuma:Uljne difuzijske pumpe ili kriogene/molekularne pumpe postižu krajnji osnovni tlak od 5,0 x 10^-3 Pa prije punjenja plinom i ionskog čišćenja.

Podsustav za isporuku plina:Više{0}}kanalni regulatori masenog protoka (MFC) mjere procesne plinove visoke{1}}čistoće (Ar, N2, C2H2, O2) s tolerancijom stabilnosti protoka od +/- 1% pune skale.

Katodne mete
Metalne mete:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atomski omjeri), WC, nehrđajući čelik.

Standard čistoće:>= 99.99% vakuumski otopljeno i valjano.

Materijali supstrata
Alatni čelici:H13, SKD11, M2, D2 (pret-obrađeno i kaljeno ispod temperature taloženja premaza).

Karbidi:Cementirani volfram karbidi (WC-Co).

Inženjerske legure:Legure titana (TC4), nehrđajući čelik (304/316) i legure bakra (ovisno o učvršćenju).

Alati za precizno rezanje:Nanošenjem TiAlN i AlCrN prevlaka na glodala i ploče od cementnog volfram karbida postiže se površinska tvrdoća od 3300 - 3500 HV. Podaci o validaciji na terenu pokazuju 2,5x produljenje vijeka trajanja alata pod -uvjetima suhe strojne obrade velike brzine.

Kalupi i matrice:Površinsko otvrdnjavanje kalupa za brizganje plastike H13 i SKD11 i kalupa za utiskivanje kako bi se spriječio toplinski zamor, trošenje ljepila i nagrizanje.

Automobilske komponente:DLC (Diamond-Like Carbon) i CrN premazi otporni na -trenje,-na habanje naneseni na klipne prstenove, igle mlaznica za gorivo i podizače ventila za smanjenje koeficijenata graničnog trenja ispod 0,1.

Funkcionalni hardver:Dekorativni, ali tvrdi završni slojevi -otporni na habanje (TiCN, ZrN) za industrijske sanitarne armature i vrhunske- mehaničke komponente.

Inženjerske konfiguracije prilagođavaju se ograničenjima objekta i geometriji komponenti:

Geometrija komore:Konfiguracije vrata za utovar-okomitog -tipa jame ili prednjih vodoravnih{1}}utovarnih vrata.

Uređaji za trčanje:Planetarni, s jednom-rotacijom ili prilagođeni satelitski uređaji prilagođeni složenim 3D geometrijama obratka.

Odabir skupa za pumpanje:Opcije konfiguracije za pakete difuzije ulja, turbomolekularne ili kriopumpe, ovisno o standardima čistih prostorija i ciljevima-zastoja pumpe.

Integracija plina i struje:Prilagođeni električni transformatori za regionalne mrežne standarde (npr. 480 V/60 Hz, 415 V/50 Hz) i integracija s klijentovim-centralnim sustavima za čišćenje ispušnih plinova.

Svaki sustav taloženja prolazi strogu provjeru kvalitete prije otpreme:

Detekcija curenja helija:Ispitivanje curenja helijem masenim spektrometrom provedeno na svim vakuumskim komorama i zavarenim šavovima (brzina curenja<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Provjera električne sigurnosti:Izolacijski otpor, kontinuitet uzemljenja i visoko{0}}naponska dielektrična ispitivanja otpornosti u skladu s CE/IEC električnim standardima.

Funkcionalni rad na suho:72-satni kontinuirani suhi ciklus mehaničkih rotacijskih mehanizama, pneumatskih ventila i senzora za blokiranje rashladne vode.

Test prihvatljivosti procesa:U proizvodnom pogonu izvršeno je nanošenje uzorka premaza kako bi se potvrdila ujednačenost debljine filma, tvrdoća i prianjanje (test ogrebotinama / Rockwell udubljenje).

Smjernice za pripremu mjesta:Sveobuhvatna dokumentacija o tlocrtu objekta s detaljima o zahtjevima za opterećenje poda, lokacijama ispušnih kanala, dimenzijama vodenog razvodnika i električnim točkama pada isporučena 4 tjedna prije otpreme.

Puštanje u rad:Instalaciju na-licu mjesta, vakuumsku kalibraciju i električnu vezu-izvode inženjeri terenske službe.

Proces predaje recepta:Osnovni recepti za premazivanje (TiN, TiAlN) razvijeni, testirani i preneseni tijekom tvorničkog prihvaćanja ili -puštanja u rad na licu mjesta.

Rezervni dijelovi i dijagnostika:Daljinski dijagnostički modul integriran u PLC za brzo rješavanje problema, podržan lokalnim skladištenjem kritičnih brtvi, katodnih meta i zaštitnih ploča.