Sustav tankog filma lučnog isparavanja

Industrijski sustav tankog filma s katodnim lukom za isparavanje dizajniran je za visoko{0}}taloženje gustih, čvrsto prianjajućih metalnih, legura i keramičkih prevlaka. Djelujući putem niskog-napona, visoke{3}}struje lučnog pražnjenja na čvrstim katodnim metama, sustav isparava materijal izravno u stanje visoko ionizirane plazme (40% - 80% omjer metalnih iona). Ovo pokreće energetske ione u sučelje supstrata, proizvodeći superiornu adheziju premaza u usporedbi sa standardnim toplinskim isparavanjem ili konvencionalnim metodama raspršivanja.

Izgrađen za proizvodna okruženja i napredne centre za istraživanje materijala, sustav nanosi čvrste tribološke slojeve -otporne na habanje-kao što su TiN, TiAlN, CrN i AlCrN-na alate za rezanje, kalupe za oblikovanje i precizne mehaničke komponente. Modularna vakuumska komora prilagođava se skalabilnim konfiguracijama s više-katoda i automatiziranom planetarnom rotacijom u 3-osi kako bi se osigurala ponovljivost od-serije do serije.

Magnetska katodna-tehnologija upravljanja:Magnetska polja zatvorene-petlje pomiču katodnu točku po površini mete, podižući stope iskorištenja mete iznad 55% i sprječavajući lokalizirano stvaranje kratera na meti.

Plazma visoke stope ionizacije Generira omjere metalnih iona do 80%, pružajući visoku kinetičku energiju za rast gustog filma i duboku metaluršku difuziju na supstratu supstrata.

Programabilno više{0}}slojno taloženje:Industrijski PLC u kombinaciji s HMI kontrolnom arhitekturom izvršava automatizirano sekvenciranje reaktivnih plinova (N2, O2, C2H2) za funkcionalni gradijent i nanoslojevitu arhitekturu premaza.

Plazma jetkanje-na licu mjesta:Integrira bombardiranje metalnim ionima i neuravnotežene faze čišćenja magnetrona prije taloženja radi uklanjanja prirodnih oksida i površinskih kontaminanata.

Vakuumski podsustav projektiran je za brze cikluse-ispumpavanja i stabilan radni tlak pod kontinuiranim unosom reaktivnog plina:

Faza grube obrade i korijenja:Pumpa s rotirajućim-krilcima ili suhi vijčani pogon uparena s Rootsovim puhalom, evakuira komoru od atmosferskog tlaka do 10 Pa unutar 5 minuta.

Stupanj visokog vakuuma:Turbomolekularna pumpa s magnetskom levitacijom koja pruža veliku volumetrijsku brzinu pumpanja za vodenu paru i zaostale plinove, osiguravajući ciljne vrijednosti osnovnog tlaka ispod 5,0 x 10^-4 Pa.

Ventili i mjerači:Pneumatski zasuni i elektro-pneumatski kutni ventili integrirani s-kombinacijskim mjeračima Pirani/Penning punog raspona za automatizirane sigurnosne blokade.

Regulacija tlaka:Povratna informacija manometra kapacitivnosti zatvorene-petlje povezana s visoko{1}}preciznim regulatorima masenog protoka (MFC) za stabilizaciju parcijalnog tlaka reaktivnog plina tijekom reaktivnog taloženja.

Ciljni materijali
Čisti metali:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Legirane mete:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Ugljik:Grafitne mete za hibridno taloženje-ugljika poput dijamanta (DLC).

Kompatibilnost podloge
Tvrdi metali/cementirani karbidi:WC-Co rezni umetci, glodala i alati za oblikovanje.

Brzo{0}}čelici (HSS):Ureznice, spiralna svrdla i provlake.

Inženjerski čelici:Nehrđajući čelik, legure titana i visoko{0}}superlegure na bazi nikla-.

Strukturna keramika:Komponente glinice i silicijevog nitrida koje zahtijevaju tribološku modifikaciju.

Alati za rezanje i obradu:Nanošenje TiAlN i AlCrN prevlaka na karbidne umetke za povećanje otpornosti na oksidaciju do 900 stupnjeva C i produljenje vijeka trajanja alata tijekom -brzinskog suhog rezanja.

Automobilske komponente:Tvrdi premaz klipnih prstenova, podizača ventila i iglica za ubrizgavanje goriva za smanjenje koeficijenata graničnog trenja ispod 0,1 i sprječavanje habanja.

Kalupi i matrice:Nanošenje CrN i TiCN filmova na kalupe za brizganje plastike i metalne kalupe za utiskivanje kako bi se spriječilo trošenje ljepila i nagrizanje materijala.

Zrakoplovni hardver:Zaštitni premazi-otporni na eroziju na preciznim pričvršćivačima i komponentama kompresora koji rade u korozivnim okruženjima.

Geometrija komore:Utovarna vrata-u stilu vertikalne jame ili horizontalna prednja-vrata za utovar prilagođena rasporedu-podova trgovine.

Integracija hibridnog izvora:Dvostruke-tehnološke konfiguracije koje kombiniraju isparivače s katodnim lukom s katodama za neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje (UBMS) ili linearnim ionskim topovima.

Razina automatizacije:Mogućnosti tvorničke integracije uključujući automatizirane robotske ruke za utovar ili montažu na pregradni zid čiste sobe.

Energetska elektronika:Prilagođeni pulsni prednaponski generatori optimizirani za izolacijske podloge ili temperaturno{0}}osjetljive osnovne materijale.

Detekcija curenja:Ispitivanje curenja masenim spektrometrom helija provedeno je na svim vakuumskim komorama i zavarenim šavovima, održavajući ukupne stope curenja ispod 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Revizija električne sigurnosti:Otpor izolacije i ispitivanje kontinuiteta uzemljenja u skladu s CE i standardima električne sigurnosti.

Funkcionalni rad na suho:72-satni kontinuirani automatizirani test suhog ciklusa mehaničkih rotacijskih pogona, sekvenciranja ventila i blokada protoka rashladne vode.

Provjera procesa (FAT):Izborno nanošenje referentnih TiN premaza na testne kupone-koje dostavlja klijent za provjeru ujednačenosti debljine filma, nano-tvrdoće i čvrstoće prianjanja na ogrebotine prije pakiranja.

Vodič za pripremu mjesta:Detaljna inženjerska dokumentacija objekta koja pokriva ograničenja opterećenja poda, ispušne kanale, specifikacije ohlađene vode i električne ispuste dostavljena 4 tjedna prije isporuke.

Puštanje u rad na-licu mjesta:Terenski servisni inženjeri nadziru mehaničko pozicioniranje, komunalne priključke, vakuumsko brtvljenje i električnu integraciju.

Trening procesa:Praktična-obuka operatera koja pokriva održavanje komore, protokole zamjene cilja, rješavanje problema s vakuumom i upravljanje receptima.

Daljinska dijagnostika:Sigurni industrijski VPN pristupnik integriran u upravljački ormarić za daljinsko ažuriranje softvera, analizu zapisivanja parametara i dijagnozu kvarova.