PVD više{0}}procesna oprema za tanki film

PVD Multi{0}}Process Thin Film Equipment integrirana je platforma za vakuumsko taloženje projektirana za kombiniranje višestrukih-tehnika izrade tankog filma-uključujući RF/DC raspršivanje magnetronom, toplinsko isparavanje i isparavanje elektronskim snopom-unutar jedinstvene vakuumske arhitekture.

Ovaj sustav eliminira kontaminaciju prekidom vakuuma između različitih procesnih slojeva, omogućavajući taloženje složenih više{0}}slojnih metalnih, dielektričnih i poluvodičkih filmova bez izlaganja okolini. Konfiguriran za laboratorijske istraživačko-razvojne klastere ili pilot-linijsku proizvodnju, prilagođava supstrate do 300 mm u promjeru ili prilagođene nosače.

Modularna vakuumska arhitektura:Nezavisne procesne komore spojene preko zapornih ventila sprječavaju unakrsnu-kontaminaciju između reaktivnog raspršivanja i visokog-vakuumskog isparavanja.

U-vakuumskom prijenosu supstrata:Magnetske ili linearne prijenosne ruke održavaju visoki vakuum (< 10^-4 Pa) during inter-chamber sample movement.

Brza-promjena izvornih prirubnica:Katode za raspršivanje i lonci s e-zrakom montirani su na standardne CF prirubnice za brzo održavanje i zamjenu mete.

Napredno kriogeno hvatanje:Integrirane hladne zamke s tekućim dušikom i Meissnerove zamke smanjuju zaostali tlak vodene pare unutar komore.

Praćenje debljine-zatvorene petlje:Dvostruki senzori za mikrovagu s kvarcnim kristalom (QCM) pružaju -brzinu taloženja i debljinu povratne informacije u stvarnom vremenu povezane izravno s regulacijom napajanja.

Faza grube obrade:Spiralne-crpke bez ulja uparene s-stupanjskim puhaljkama korijena za eliminaciju povratnog-strujanja ugljikovodika.

Faza visokog vakuuma:Backed by magnetically levitated turbo-molecular pumps (>1200 L/s za N2) i opcijske kriopumpe za visoku propusnost-vodene pare.

Regulacija tlaka:Baratron kapacitivni manometri za mjerenje apsolutnog tlaka neovisno o vrsti plina, upareni s automatskim prigušnim ventilima za preciznu kontrolu tlaka procesnog plina (0,1 Pa do 10 Pa).

Detekcija curenja:Propuštanje helija-testirano na < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s prije tvorničkog ispitivanja prihvatljivosti (FAT).

Vodljive mete:Au, Ag, Cu, Al, Ti, Cr, ITO, AZO, Mo, W, NiCr.

Dielektrični materijali:SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2 (putem reaktivnog raspršivanja ili e-zraka).

Vrste supstrata:
Poluvodičke ploče (silicij, galijev arsenid, indijev fosfid).

Optički ulošci (taljeni silicij, BK7, safir).

Fleksibilne trake i tanke metalne ploče (poliimid, folija od nehrđajućeg čelika).

Optoelektronika:Taloženje slojeva prozirnog vodljivog oksida (TCO) i anti{0}}slojeva optičkih filtara (AR).

Izrada poluvodičkih uređaja:Formiranje omskih kontakata, Schottky barijera, početnih slojeva za galvanizaciju i difuzijskih barijera (Ti/TiN).

Proizvodnja senzora:Tanko{0}}metalni mjerači naprezanja, mikro{1}}grijaći elementi i piezoelektrični pretvornici.

Napredno istraživanje i razvoj:Istraživačka sinteza više{0}}slojnog tankog-sloja za kvantne računalne komponente i nove materijale za pohranu energije.

Geometrija komore:Proširive dimenzije komore za ne-standardne ili prevelike šaržne supstrate.

Integracija izvora:Prilagođeni omjeri raspodjele između magnetronskih pištolja za raspršivanje i džepova za isparavanje elektronskog snopa.

Bias raspršivanje:Opcije RF/DC prednaprezanja supstrata za zgušnjavanje filma i kontrolu naprezanja.

Učitaj-integraciju zaključavanja:Dodavanje automatiziranih komora-za zaključavanje za održavanje visokog vakuumskog integriteta tijekom-ciklusa punjenja velikog protoka.

Sljedivost materijala:Certifikati o ispitivanju glodalice (MTC) isporučeni za sve komponente od nehrđajućeg čelika i strukturne okvire-na vakuumskoj strani.

Montaža čiste sobe:Konačna integracija i verifikacija-broja čestica izvedena u okruženju čiste sobe ISO klase 6.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):72-satni kontinuirani vakuumski test pečenja, ispitivanje curenja putem masene spektrometrije analizatora zaostalog plina (RGA) i ciklus taloženja osnovnog filma kojim se provjerava ujednačenost debljine.

Vodič za pripremu mjesta:Comprehensive utility mapping provided pre-shipment, detailing chilled water flow rates (>15 L/min), komprimirani zrak, vodovi za procesni plin (Ar, O2, N2 čistoće 99,999%) i zahtjevi za električno opterećenje (3-fazni 380V/480V).

Puštanje u rad:Instalacija na-licu mjesta, vakuumska kalibracija i zajednička testiranja-koje provode tvornički servisni inženjeri.

Obuka operatera:Strukturirana 5-dnevna obuka na licu mjesta koja pokriva rutinsko održavanje, sigurnosne protokole vakuumiranja, programiranje recepata i osnovno rješavanje problema.