Industrijski ionski{0}}sustav taloženja tankog filma
Ionski{0}}Sustav potpomognutog taloženja tankog filma integrira više-džepne elektronske-snope/toplinsko isparavanje s-izvorom iona End-Hall ili Kaufman-tipa visokih-učinkovitosti. Tijekom fizičkog taloženja iz parne pare (PVD), energetsko bombardiranje ionima prenosi zamah izravno na adatome na površini supstrata, eliminirajući praznine u stupčastoj mikrostrukturi i proizvodeći tanke filmove visoke-gustoće, ekološki stabilne.
Projektirana za preciznu izradu optike, poluvodičku mikroelektroniku i napredne objekte za istraživanje i razvoj, ova platforma pruža strogu ponovljivost od -do-serije za složene filtere optičkih smetnji, tvrde zaštitne premaze i slojeve za pasiviranje poluvodiča.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija |
|
Dimenzije komore |
Φ 600 mm × 600 mm (dostupno prilagođeno skaliranje do Φ 1200 mm) |
|
Krajnji osnovni tlak |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (Fully baked, dry pumping architecture) |
|
Komplet za vakuumsko pumpanje |
Magnetski levitirana turbomolekularna pumpa od 1600 L/s potpomognuta kombinacijom-suhe pumpe bez ulja |
|
Izvori isparavanja |
Više{0}}džepni E-pištolj (4 × 10 kW kontrola zahvata) i otporni toplinski izvori |
|
Konfiguracija izvora iona |
Kraj-Hall bez rešetke / Kaufmanov izvor s mrežom (energija snopa: 50–1500 eV, ionska struja: do 250 mA) |
|
Učvršćenje podloge |
Stupanj planetarne-rotacije promjenjive brzine s integriranim zagrijavanjem podloge do 350 stupnjeva |
|
Ujednačenost debljine filma |
< ± 1% (measured across Φ 400 mm effective deposition zone) |
|
Sustav kontrole procesa |
Jezgra PLC-a integrirana s industrijskim računalom na kojem se- pokreće SCADA softver za automatizaciju |
Ključne značajke
Momentum-Poboljšana mikrostruktura:Kontrolirana pomoć iona povećava pokretljivost površine adatoma, učinkovito potiskujući rast poroznih stupnih zrna i eliminirajući pomake indeksa loma uzrokovane apsorpcijom vlage.
Dual{0}}Channel Thickness Feedback:Integrira dvostruke kvarcne kristalne mikrovage (QCM) sonde uz širokopojasne optičke nadzorne (BOM) priključke za-nanometarsku-regulaciju debljine i brzine u stvarnom vremenu.
Ultra{0}}čista vakuumska komora:Izrađen od nehrđajućeg čelika 304L s unutarnjim elektro{1}}poliranim završnim obradama, metalnim-zabrtvljenim PDV zasunima i pneumatskim metalnim-brtvenim prirubnicama za smanjenje ispuštanja plinova.
Regulacija reaktivnog plina zatvorene-petlje:Visoko{0}}precizni regulatori masenog protoka (MFC) mjere reaktivne plinove kisika, dušika i argona s sub-sccm rezolucijom za osiguranje stehiometrijskih slojeva spojeva.
Konfiguracija vakuumskog sustava
Linija grube obrade:Hermetički zatvorene, bezuljne suhe spiralne pumpe eliminiraju rizik od kontaminacije ugljikovodicima u fazama grube obrade i prednje linije.
Integracija visokog vakuuma:Maglev turbomolekularne pumpe spojene izravno na glavnu komoru preko-pneumatskih zapornih ventila visoke vodljivosti povećavaju brzinu pumpanja procesne i zaostale vodene pare.
Vakuumska dijagnostika:Redundantni Pirani i mjerači s hladnom katodom pružaju kontinuirano, unakrsno-kalibrirano bilježenje tlaka od atmosfere do 10⁻⁷ Pa.
Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge
Isparljivi materijali:Dielektrični oksidi: SiO₂, TiO₂, Ta₂O5, Nb₂O5, HfO₂, Al2O₃
Fluoridi:MgF₂, LaF3
Vatrostalni metali:Au, Ag, Al, Ti, Cr, NiCr
Podvrste supstrata:Praznine od optičkog stakla (BK7, taljeni silicij, kvarc), poluvodičke pločice (silicij, GaAs), jedno-kristalne podloge (LiNbO₃, safir) i precizne metalne komponente.
Prijave
Precizna optika:Uskopojasni filtri-s podjelom multipleksiranja (WDM) uskopojasnih valnih duljina, laserska linijska zrcala i izdržljivi-antirefleksijski (AR) premazi za-laserske sustave velike snage.
Izrada poluvodiča:Oksidni dielektrici vrata, metalni međuslojevi za adheziju i pasivni slojevi barijere-za zaštitu od vlage.
Napredna optoelektronika:Polarizatori tankog{0}}sloja, slojevi valovodnih obloga i filmovi s transparentnim vodljivim oksidom (TCO) na dodir-ploči.
Prilagodba
Kućišta komore:Okomite cilindrične staklenke-zvona, kvadratne kutije s dvostrukim-vratima ili dizajni prolaza-za čiste sobe.
Modularnost izvora:Prilagođeno brojanje džepova lončića, integracija katode za raspršivanje sekundarnog magnetrona ili specijalizirane postavke RF prednapona.
Arhitektura automatizacije:Prilagođena logika međusobnog zaključavanja PLC-a, razine sigurnosnih dopuštenja SCADA i protokoli za -bilježenje podataka o hostu SECS/GEM.
Kontrola kvalitete
Validacija komponente:Sve strukturne prirubnice, vakuumski prolazi, energetska elektronika i regulatori masenog protoka podvrgavaju se pojedinačnim dimenzionalnim i električnim testovima na stolu prije montaže.
Certifikacija curenja:Sastavljene komore podvrgavaju se ispitivanju curenja helijskim masenim spektrometrom; prag odbijanja mora ostati ispod 1,0 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.
Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):Obvezna 72{1}}satna kontinuirana provjera-provjere rada koja pokriva krivulje crpljenja, mehaniku više{3}}osne planetarne rotacije, sigurnosne petlje za blokiranje i stabilnost emisije e-beam pištolja.
Instalacija i tehnička podrška
Dokumentacija:Isporučuje se s nacrtima mehaničkih sklopova, električnim shemama, P&ID rasporedima, izvornim registrima PLC logike i vodičima za preventivno održavanje.
Puštanje u rad na-licu mjesta:Terenski servisni inženjeri usmjeravaju mehaničko pozicioniranje, priključke na struju (struja, rashladna voda, komprimirani zrak) i početno{0}}pečenje sustava.
Trening procesa:Uključuje kalibraciju osnovne linije, podešavanje parametara izvora iona i obuku operatera o sigurnosnom protokolu.
Njega životnog ciklusa:Podrška za daljinsku dijagnostiku putem šifriranih VPN modula, regionalnih zaliha rezervnih dijelova i zakazanih revizija kalibracije.
FAQ
P: Kako se prati debljina sloja tijekom-pokreta višeslojnog taloženja?
O: Sustav koristi mikrovage s dvostrukim kvarcnim kristalom (QCM) za-praćenje brzine i debljine u stvarnom vremenu. Za složene skupove optičkih smetnji, integrira se sa širokopojasnim sustavima optičkog nadzora za ispravljanje završnih točaka slojeva izravno iz spektralnih krivulja prijenosa.
P: Koja je komunalna infrastruktura potrebna na mjestu postavljanja?
A: Električno napajanje: 3-fazno, 380V / 480V, 50/60Hz (konfigurirano prema regionalnim mrežnim standardima).
Rashladna voda: Temperatura 15–20 stupnjeva, minimalni protok 30 L/min, dovodni tlak 0,3–0,4 MPa.
Process Gases: Ultra-high purity (>99,999%) Ar, O₂ i N₂ čisto regulirani na 0,15 MPa.
P: Koje je standardno vrijeme isporuke od potvrde narudžbe do isporuke?
O: Standardne konfiguracije obično zahtijevaju 16 do 20 tjedana. Potpuno prilagođene dimenzije komore ili integracijske platforme s više-izvora zahtijevaju 24 do 30 tjedana, ovisno o odobrenju inženjerskog dizajna-i nabavi specijalizirane komponente.
Popularni tagovi: ionski-sustav potpomognutog taloženja tankog filma, Kina proizvođači, dobavljači, tvornica ionskog-sustava taloženja tankog filma, Fleksibilna tanko filmska oprema, industrijska oprema za tanke film, oprema tankog filma, Tanka filmska oprema za aplikacije za proizvodnju NEMS -a, Tanka filmska oprema za optičke primjene, oprema za ispitivanje tankih filmova
