Više{0}}oprema za ionsko taloženje luka

Industrijski sustav više-lučnog ionskog taloženja stvara guste,-tanke filmove visoke-adhezije kroz visoko-strujno, nisko-naponsko isparavanje katodnog luka. Čvrsti ciljni materijali (katode) isparavaju se u atmosferi reaktivnog plina (kao što je N2, O2 ili C2H2) kako bi se sintetizirale stehiometrijske složene prevlake. Projektirana za visoke stope ionizacije koje prelaze 80%, ova oprema daje iznimnu čvrstoću vezivanja filma-na-podlogu prikladnu za okruženja s ekstremnim mehaničkim opterećenjem.

Tehnologija magnetskog filtriranog luka:Integrirane magnetske zavojnice skreću makro-čestice i kapljice od struje supstrata, stvarajući ultra-glatke-površine bez kapljica za preciznu optiku i alate za rezanje.

Zatvorena{0}}kontrola protoka plina:MKS regulatori masenog protoka reguliraju parcijalni tlak reaktivnog plina unutar +/- 0.1 sccm pragova stabilnosti tijekom faza reaktivnog taloženja.

Upravljanje temperaturom podloge:Programabilne grupe grijača zračenja u kombinaciji sa stražnjim hlađenjem plinom argonom održavaju toplinske proračune podloge između 150C i 600C.

Recepti za automatizirani proces:Upravljačka arhitektura-temeljena na PLC-u koja izvršava protokole taloženja u više-koraka od ionskog čišćenja, gradijentnog jetkanja međusloja do funkcionalnog premaza terminala.

Pumpa za grubu obradu:Kombinacija Roots puhala i mehaničke pumpe s rotirajućim lopaticama (osnovna linija Leybold / Edwards).

Pumpa visokog vakuuma:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Vrednovanje i projektiranje:Pneumatski vakuumski zasuni od-čeličnog nehrđajućeg čelika, pneumatski kutni ventili i elastomerom-zabrtvljene KF/ISO prirubnice na nepropusnost-ispitane spektrometrijom mase helija (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Praćenje tlaka:Kombinirani ionizacijski mjerači Pirani i hladne katode daju-povratnu informaciju u stvarnom vremenu u atmosferi do ultra-raspona vakuuma.

Ciljni materijali:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Materijali supstrata:

• Cementirani karbidi (WC-Co)
• Brzo{0}}čelici (HSS)
• Legirani čelici (SKD11, 316L, 4140)
• Legure titana (Ti-6Al-4V)
• Tehnička keramika i superlegure-otporne na toplinu

Alati za rezanje i oblikovanje:Nanošenje TiAlN, AlCrN i TiCN premaza na čeono glodalo, umetke, ploče za kuhanje i kalupe za utiskivanje kako bi se povećala površinska tvrdoća do 3200 HV i oduprlo abrazivnom trošenju.

Automobilske komponente:Taloženje tvrdog ugljika (DLC) i CrN na klipnim prstenovima, iglicama za ubrizgavanje goriva i bregastim vratilima za smanjenje koeficijenata trenja ispod 0,1 u uvjetima rada na suhom.

Medicinski implantati:TiN i ZrN biokompatibilni difuzijski premazi na kobalt-krom i titan zglobovima koljena i kuka, smanjujući ispiranje metalnih iona i stvaranje ostataka od trošenja.

Zrakoplovni hardver:Zaštitni premazi-otporni na oksidaciju za turbinske lopatice i sklopove za pričvršćivanje koji rade na povišenim toplinskim pragovima.

Geometrija komore:Vertikalni -tip jame, horizontalni prednji-utovar ili konfiguracije prolaza-dvostrukih-vrata-kroz postojeće tlocrte-podova trgovine.

Integracija izvora:Hibridne konfiguracije koje spajaju izvore katodnog luka s katodama za neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje (Ums) unutar jedne komore.

Jigging i opremanje:Namjenski planetarni ili dvo-rotacijski uređaji za alate projektirani putem CAD/FEM simulacije za specifične geometrije komponenti (npr. dugačke ekstruzijske matrice ili složene kirurške vijke).

Standardi upravljanja kvalitetom:Dizajnirano, proizvedeno i testirano prema ISO 9001:2015 sustavima upravljanja kvalitetom i ISO 14001 sustavima upravljanja okolišem.

Zrakoplovna i medicinska sljedivost:Kontrole procesa i protokoli za dokumentiranje u potpunosti usklađeni sa zahtjevima NADCAP AC7102 (toplinska obrada/poboljšanje površine) na zahtjev.

Integritet curenja:Svaka vakuumska posuda podvrgava se ispitivanju nepropusnosti masenim spektrometrom helija prije potpisivanja-sastavljanja.

Električna sigurnost:-ispitivanje otpornosti izolacije visokog napona i provjere kontinuiteta uzemljenja u skladu sa standardima CE/IEC.

Run{0}}testiranje:72-satno kontinuirano suho-testiranje izdržljivosti mehaničkih rotacijskih pogona, prekidača protoka za vodeno hlađenje i PLC sustava za blokiranje.

Isporučiva dokumentacija:Potvrde o ispitivanju mlina za materijale (MTC), potvrde o ispitivanju vakuumskog curenja, paketi električnih shema i NIST{0}}izvješća o kalibraciji senzora koja se mogu pratiti.

Smjernice za pripremu mjesta:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), raspone temperature okoline, ispušnu ventilaciju i padove električne energije (3-fazni, 380V/480V, 50/60Hz).

Usluge puštanja u pogon:-Mehaničko pozicioniranje na licu mjesta, integracija vakuumskih cjevovoda, električno spajanje i optimizacija osnovnog recepta izveli su domaći viši inženjeri terenske službe.

Obuka operatera:5-dnevna intenzivna obuka na licu mjesta koja se bavi rutinskim održavanjem, vakuumskim rješavanjem problema, protokolima zamjene cilja i podešavanjem parametara za specifične strukture filma.

Inventar rezervnih dijelova:Kritične habajuće komponente (katodni izolatori, štitovi za mračni svemir, dinamičke brtve i nizovi niti) regionalno zalihe za otpremu u roku od 48 sati.