Industrijska PVD oprema za taloženje kompozita projektirana je za izradu više-komponentnih, više-slojnih i nano-kompozitnih tankih-slojeva. Sustav integrira toplinsko isparavanje, e-isparavanje snopa i izvore magnetronskog raspršivanja unutar jednog vakuumskog okruženja za kontrolu sastava filma, oštrine sučelja i zaostalog naprezanja. Izgrađena za kontinuirano istraživanje i razvoj i proizvodnju, arhitektura ima nizak osnovni tlak, modularnu konfiguraciju izvora i čisti pristup održavanju.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija Raspon / Vrijednost |
|
Krajnji vakuumski tlak |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Vrijeme-zastoja pumpe |
Atmosferski do 6,0 x 10^-4 Pa in<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Veličina držača podloge |
Prilagođene konfiguracije: do dijametra . 600 mm ravne ploče ili planetarnih stupnjeva |
|
Ujednačenost debljine filma |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Raspon temperature podloge |
Ambijentalna do 800 stupnjeva C (PID kontrolirano, kvarcni halogen/otporno grijanje) |
|
Izvori taloženja |
Više{0}}džepni e-pištolji, termalni čamci i RF/DC magnetronske katode |
|
Materijal komore |
304L/316L nehrđajući čelik, elektro-polirane unutarnje stijenke (Ra<= 0.2 um) |
|
Kontrolno sučelje sustava |
PLC + IPC arhitektura, automatizirano izvršavanje recepata, SCADA bilježenje |
Ključne značajke
Modularna integracija izvora:Priključci komore omogućuju simultani ili uzastopni rad izvora isparavanja i prskanja bez unakrsne-kontaminacije.
Dinamička manipulacija podlogom:Više{0}}osni planetarni ili zakretni pogonski mehanizmi osiguravaju konforman premaz na složenim 3D podlogama i dubokim kanalima.
Priključci za-nadzor na licu mjesta:Unaprijed poravnate prirubnice za kvarcnu kristalnu mikrovagu (QCM), optičku emisijsku spektroskopiju (OES) i širokopojasni optički nadzor (BOM).
Integritet vakuuma-visoke čistoće:Metalne -zabrtvljene conflat (CF) prirubnice, pneumatski zasuni i ispitivanje curenja helijevim masenim spektrometrom do 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.
Sigurnost automatizirane blokade:Povratna informacija-senzora u stvarnom vremenu štiti od kvara rashladne vode, gubitka komprimiranog zraka i preko-temperaturnih anomalija.
Konfiguracija vakuumskog sustava
Pumpe za grubu obradu i korijenje:Pumpe sa suhim vijkom bez ulja- u kombinaciji s korijenskim puhalima sprječavaju povratak ugljikovodika u procesnu komoru.
Visok{0}}vakuumske pumpe:Magnetski levitirane turbomolekularne pumpe ili helijeve kriogene pumpe zatvorene-petlje odabrane prema zahtjevima ciljnog opterećenja plinom.
Regulacija tlaka:Kontroleri prigušnog ventila integrirani s manometrima kapaciteta održavaju stabilan procesni tlak (0,1 Pa do 10 Pa) tijekom reaktivnih pokreta.
Kompatibilnost materijala i podloge
Materijali za taloženje
Metali:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Oksidi i dielektrici:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitridi i karbidi:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Materijali supstrata
Poluvodiči:Silikonske pločice (100 mm do 300 mm), staklo, kvarc, safir
Metali i legure:Nehrđajući čelik, legure titana, alatni čelici, superlegure
Keramika i polimeri:Aluminij, cirkonij, poliimidni filmovi
Prijave
Filtri optičkih smetnji:Više{0}}slojni anti{1}}premazi (AR), propusni filtri i visoka-reflektorska zrcala za lasere i senzore.
Tvrdi premazi-otporni na habanje: Nanokompozitne nitridne prevlake (TiAlN/Si3N4) na preciznim alatima za rezanje i automobilskim ventilima.
Mikroelektronički tanki filmovi:Vodljivi barijerni slojevi, početni slojevi i kontaktni metalizacijski slojevi za pakiranje poluvodiča.
Funkcionalni energetski filmovi:Prozirni vodljivi oksidi (TCO) i apsorberski slojevi za fotonaponske i senzorske uređaje.
Mogućnosti prilagodbe
Dimenzije komore:Skalirani volumen od R&D skale (400 mm kocke) do proizvodne skale (Dia. 1200 mm cilindrični).
Izgledi izvornog priključka:Prilagođeno pozicioniranje prirubnice za integraciju izvora iona trećih-strana, taloženje potpomognuto-plazmom (PAD) ili generatore RF pristranosti.
Učitaj-integraciju zaključavanja:Ručno učitavanje-zaključavanje, jedno-pločasto učitavanje-zaključavanje ili konfiguracije klastera s više-komora za sprječavanje oksidacije.
Kontrola kvalitete i globalna sukladnost
Globalna usklađenost s električnim i sigurnosnim propisima:Upravljački ormarići izrađeni prema UL 508A / NFPA 79 (Sjeverna Amerika), CE (Europa) i SEMI S2/S8 EHS smjernicama.
Ispitivanje vakuuma:Zavarene komore podvrgavaju se detekciji curenja helijevim masenim spektrometrom prije završne obrade površine.
Dimenzijska inspekcija:Provjera koordinatnog mjernog stroja (CMM) ravnina montaže izvora i tolerancija podloge.
Tvornički prijemni test (FAT):72-satno kontinuirano suho-testiranje bilježenje pada osnovnog tlaka, krivulje ispumpavanja i zapisnici odziva PLC-a.
Instalacija i tehnička podrška
Pred-inženjering instalacije:Pružanje priručnika o zahtjevima objekta (komunalije, protok/tlak rashladne vode, ispušna ventilacija, opterećenje poda čistih prostorija).
Puštanje u rad na-licu mjesta:Inženjeri terenske službe nadgledaju opremu, spajanje vakuumske linije, električno povezivanje-i početno pumpanje-.
Pomoć pri podešavanju procesa:Zajednički probni radovi s inženjerskim timovima kupaca kako bi se provjerila ujednačenost filma i stope taloženja.
Podrška životnog ciklusa:Integracija modula za daljinsku dijagnostiku za-rješavanje problema s PLC-om u stvarnom vremenu, uz podršku lokaliziranog popisa rezervnih dijelova.
Često postavljana pitanja
P: Koje je vrijeme isporuke za prilagođeni sustav?
O: Standardne konfiguracije zahtijevaju 16 do 24 tjedna od odobrenja crteža do tvorničke spremnosti, ovisno o vremenu potrebnom za vakuumsku pumpu.
P: Kako se upravlja unakrsnom-kontaminacijom tijekom-ko-taloženja iz više izvora?
O: Komore uključuju fizičku zaštitu između izvora, pojedinačnih zatvarača izvora i prstenova za distribuciju plina usmjerenih kako bi se spriječila migracija čestica.
P: Može li se ova oprema integrirati u čisti prostor?
O: Da. Sustav podržava --instalaciju u zidu (žuta soba/čista soba), postavljajući procesnu komoru unutar čiste sobe i pomoćne regale u servisnu potjeru.
P: Koji komunalni zahtjevi moraju biti pripremljeni prije isporuke?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bara), komprimirani zrak (6 bara suhi/filtrirani) i namjenski ispušni vod pumpe za grubu obradu.
Popularni tagovi: oprema za taloženje pvd kompozita, Kina oprema za taloženje pvd kompozita proizvođači, dobavljači, tvornica, Tanka filmska produkcija
