Industrijski više{0}}lučni PVD sustav koristi katodni luk visoke{1}}ionizacije fizičkim taloženjem iz pare za nanošenje gustih, stehiometrijskih tvrdih premaza (kao što su TiN, TiAlN, CrN i DLC) na metalne podloge. Projektiran za velike-centre za ugovorno premazivanje i proizvodne linije za vlastite potrebe, ovaj sustav optimizira otpornost na habanje, smanjenje trenja i toplinsku stabilnost za precizne komponente.

Tehničke specifikacije

Parametar	Raspon specifikacija
Dimenzije komore	Prilagođene konfiguracije (promjer. 800 x 1000 mm do promjer. 1500 x 1500 mm, nehrđajući čelik 304/316L)
Krajnji vakuumski tlak	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo Molecular & Roots Pump configuration)
Radni vakuumski tlak	0,1 do 3,0 Pa (upravljano putem digitalnih MFC-a)
Katodno napajanje	Istosmjerni luk: 100 A - 200 A; Impulsni prednapon: 0 do -1000 V podesiv
Rotacija učvršćenja podloge	Planetarna rotacija, 0 - 10 o/min, nosivost do 500 kg
Sustav grijanja	Zračeći grijači od nehrđajućeg čelika, maksimalna temperatura 600 stupnjeva C (+/- 5 stupnjeva C ujednačenost)
Kontrola procesa	PLC + industrijsko računalo, automatizirano izvršavanje recepata,-bilježenje podataka u stvarnom vremenu
Uslužni zahtjevi	Voda za hlađenje: 0.2 - 0.3 MPa, 25 stupnjeva C; Snaga: 380V, 3 faze, 50/60Hz

Ključne značajke

Filtrirani izvori katodnog luka:Magnetsko filtriranje smanjuje stvaranje makročestica (kapljica), čime se postiže glatkija površina (Ra < 0,1 um).

Konfiguracija neuravnoteženog magnetrona zatvorenog-polja: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Dvostruka-regulacija protoka plina:Upravljanje povratnom-zatvorenom petljom pomoću manometra kapacitivnosti i visoko{1}}preciznih MFC-ova za reaktivne plinove (N2, C2H2, O2).

Modularni izvori taloženja:Izmjenjivi planarni i cilindrični rasporedi omogućuju brzu promjenu cilja za više-slojne arhitekture.

Konfiguracija vakuumskog sustava

Pumpa za grubu obradu:Mehanička podloga s rotirajućim lopaticama ili suhim vijkom za eliminiranje povratnog strujanja ulja.

Pumpa visokog vakuuma: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) upareno s roots puhalom.

Brtvljenje i ventili:Pneumatski zasuni, ISO-F/CF prirubnice s Viton/metalnim brtvama; brzina curenja masenog spektrometra helija < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Praćenje tlaka:Kombinirani Pirani i ionizacijski mjerači s hladnom katodom.

Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge

Standardne katodne mete:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Materijali supstrata:Cementirani karbidi (WC-Co), HSS, legirani čelici (SKD11, 40Cr), legure titana (Ti-6Al-4V) i nehrđajući čelik (304, 316L).

Pre-tretman:Zahtijeva ultrazvučno odmašćivanje i in-nagrizanje argon plazma ionima (Ar+ bombardiranje) za uklanjanje površinskih oksida prije taloženja.

Prijave

Alati za rezanje i oblikovanje:Krajnja glodala, glodala i umetci presvučeni TiAlN/TiN za produljenje vijeka trajanja alata za 200% - 400% pri suhoj obradi.

Automobilske komponente:Klipni prstenovi, igle injektora i podizači presvučeni CrN/DLC-om za smanjenje graničnog trenja i habanja.

Medicinski uređaji:Ortopedski vijci, kirurške oštrice i zubni nosači koji koriste TiN/ZrN za biokompatibilnost i otpornost na koroziju.

Industrijski hardver:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

Prilagodba

Veličina komore:Prilagođeni unutarnji promjeri i profili visine prilagođeni određenim količinama šarže ili prevelikim radnim komadima.

Raspored katode:4 do 12 konfigurabilnih utora izvora luka postavljenih simetrično kako bi se osigurala distribucija debljine unutar +/- 8%.

Integracija pristranosti:Dodatna hibridna integracija pulsirajućeg magnetronskog raspršivanja velike{0}} snage (HPPMS) uz standardne izvore katodnog luka.

Automatizacija:Integracija s automatiziranim utovarnim rukama i SCADA sustavima za izvođenje proizvodnje.

Kontrola kvalitete

Inspekcija materijala:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Strukturno ispitivanje:CMM provjera dimenzija komora i hidrostatsko ispitivanje rashladnih kanala.

Tvorničko prijemno ispitivanje (FAT):72-satno neprekidno suho-testiranje koje pokriva mehaničku rotaciju, krivulje pumpanja i toplinsku stabilnost.

Provjera premaza:Probni kuponi procijenjeni putem ispitivanja istrošenosti-na-disku, Rockwellovog udubljenja i analize debljine-presjeka FESEM.

Instalacija i tehnička podrška

Priprema mjesta:Detaljna inženjerska dokumentacija za ograničenja opterećenja poda, protok rashladne vode i zahtjeve za električne sabirnice.

Puštanje u rad:Instalacija na-licu mjesta, vakuumska kalibracija i primopredaja recepata osnovnog procesa od strane inženjera na terenu.

Obuka operatera:Strukturirani programi koji pokrivaju rutinsko održavanje, zamjenu cilja, traženje curenja i osnovno rješavanje problema s PLC-om.

Podrška životnog ciklusa:Integracija daljinskog dijagnostičkog sučelja za-bilježenje parametara u stvarnom vremenu i brzu izolaciju greške.

FAQ

P: Koja je tipična stopa iskorištenja ciljne katode?

O: Katode s ravnim lukom obično postižu iskorištenje od 45% do 60%, ovisno o profilu magnetske erozije.

P: Kako sustav ublažava makročestice?

O: Upravljačka magnetska polja i dodatni kanali s filtriranim katodnim lukom (FCVA) hvataju neionizirane makročestice prije nego što dođu do podloge.

P: Koje je prosječno vrijeme ciklusa procesa?

O: Standardno taloženje TiAlN-a traje 3 - 4 sati, uključujući ispumpavanje-, zagrijavanje, jetkanje, taloženje i hlađenje za 3 - 5 um film.

P: Jesu li potrebni pomoćni grijači unutar komore?

O: Da. Grupe zračećih grijača prethodno zagrijavaju podloge na 350 stupnjeva C - 550 stupnjeva C kako bi otpustili vlagu i osigurali prianjanje premaza.

Popularni tagovi: multi-arc pvd oprema za tanki film, Kina multi-arc pvd oprema za tanki film proizvođači, dobavljači, tvornica