Multi{0}}Arc Ion Deposition System

Multi{0}}Arc Ion Deposition System

Detalji
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% ionizacija čvrstog katodnog materijala, pokrećući visoko{1}}energetsko bombardiranje ionima u sučelje supstrata za superiorno prianjanje filma u usporedbi s magnetronskim raspršivanjem.
Klasifikacija proizvoda
Multi{0}}Arc Ion Thin Film Oprema
 
Pošaljite upit
Opis
Tehnički parametri

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% ionizacija čvrstog katodnog materijala, pokrećući visoko{1}}energetsko bombardiranje ionima u sučelje supstrata za superiorno prianjanje filma u usporedbi s magnetronskim raspršivanjem.


Vakuumska komora od-nehrđajućeg-čelika s dvostrukim stijenkama sadrži modularne izvore luka i PLC-kontrolirani automatizirani ciklus koji upravlja pumpom-dolje,-nagrizanje plazmom na licu mjesta, isporuku reaktivnog plina i više-taloženje slojeva.

 

Tehničke specifikacije

 

Parametar

Specifikacija

Veličina komore

Prilagođeni unutarnji promjer (Phi 800 mm - Phi 1500 mm)

Materijal posude

Dvo-stjenke SUS304 / SUS316L s unutarnjim kanalima za hlađenje

Osnovni tlak

<= 5.0 x 10^-3 Pa (dry-pumped)

Vrijeme-zastoja pumpe

Atmosfera do 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (clean, empty)

Lučne katode

4 do 12 pravokutnih ili kružnih izvora

Napajanja

Istosmjerni luk (0-200 A) i impulsni prednapon (0-3000 V)

Rotacija podloge

Više{0}}osna planetarna/jedno-rotacija putem prolaza magnetske tekućine

Kontrolni sustav

Siemens S7-1500 PLC + IPC s automatiziranim receptima

Zahtjevi za komunalne usluge

Voda za hlađenje (18-25 C, 0,2-0,4 MPa); Komprimirani zrak (0,5-0,7 MPa)

 

Ključne značajke


Visoka stopa ionizacije:Smanjuje raslojavanje filma gustim ionskim bombardiranjem.


Kontrolirana stabilnost luka:Programabilni okidači i regulacija struje zatvorene-petlje suzbijaju stvaranje makročestica (kapljica) i sprječavaju trovanje cilja reaktivnim plinovima (N2, C2H2, O2).


Modularni izvori luka:Postavljanje bočnih strana i vrata prilagođava se složenim 3D geometrijama alata za ravnomjernu raspodjelu debljine.


Impulsna prednaprezanja supstrata:Sinkronizirani naponski impulsi prilagođavaju zaostalo naprezanje, usitnjenost zrna i mikrotvrdoću.


Faze-rotacije za teške uvjete rada:Planetarni učvršćivači podržavaju šaržna opterećenja do 500 kg pod visokim toplinskim i vakuumskim opterećenjima.

 

Konfiguracija vakuumskog sustava


Gruba obrada i korijenje:Više{0}}stupanjske suhe vijčane pumpe uparene s Roots puhalima sprječavaju kontaminaciju ugljikovodicima sve do prijelaznih tlakova.


Visoki vakuum:Turbomolekularne ili difuzijske pumpe održavaju ultra{0}}visoki osnovni tlak.


Hvatanje i mjerenje:Opcijski hladni zamke s tekućim dušikom; kombinirani mjerači -Pirani/hladna katoda širokog raspona.

 

Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge


Katodne mete:Čisti metali (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) i mete od legura (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).


Materijali supstrata:Brzorezni čelik (HSS), karbidni umetci, alatni čelici za hladni/vrući rad (SKD11, H13), nehrđajući čelik i legure titana.


Pre-tretman:Ultrazvučno čišćenje vodenom otopinom nakon čega slijedi in{0}}Ar+ ili jetkanje bombardiranjem metalnim ionima za uklanjanje prirodnih oksida.

 

Prijave


Alati za rezanje:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >Površinska tvrdoća 3000 HV i otpornost na oksidaciju.


Kalupi i matrice:Zaštitni slojevi na kalupima za ubrizgavanje i kalupima za utiskivanje za sprječavanje habanja i abrazivnog trošenja.


Automobili:DLC i CrN premazi na klipnim prstenovima, zupčanicima i iglicama injektora za smanjenje koeficijenata trenja.


Medicinski uređaji:Biokompatibilni TiN/TiCN premazi na kirurškim instrumentima i implantatima.

 

Mogućnosti prilagodbe


Dimenzije komore i raspored otvora:Prilagođeni priključci za nadzor glasnoće i optičke emisije (OEM).


Generatori:Kupci-određene marke napajanja ili specijalizirane impulsne-bias konfiguracije.


Filtriranje:Magnetska upravljačka polja i filtri makročestica za optičke/elektroničke završne obrade bez-kapljica.


Automatizacija:SCADA integracija i povezivanje SQL baze podataka za bilježenje podataka Industrije 4.0.

 

Kontrola kvalitete i tvorničko ispitivanje


Ispitivanje curenja:Ispitivanje masenim spektrometrom helija na svim zavarenim spojevima (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).


Električna sigurnost:Otpor izolacije, uzemljenje i provjera međusobnog zaključavanja prema standardima CE/NFPA.


Funkcionalni rad na suho:72-satno kontinuirano mehaničko i ciklusno ispitivanje ventila.


Provjera procesa:Ispitivanje referentnog kupona za tvrdoću nanoudubljenja i prianjanje na ogrebotine.

 

Instalacija i podrška


Pred-instalacija:Predviđeni nacrti rasporeda komunalnih sustava za struju, vodu, ispušne plinove i komprimirani zrak.


Puštanje u rad:Postavljanje na-licu mjesta i probni rad pod nadzorom tvorničkih inženjera.


Trening:Prak-upravljanje, zamjena katode i obuka za rutinsko održavanje.


Briga o životnom ciklusu:Sigurna VPN udaljena dijagnostika i lokalna nabava rezervnih dijelova.

 

FAQ

 

P: Kako se kontroliraju makročestice (kapljice) tijekom taloženja katodnim lukom?

O: Ublažavanje se oslanja na optimizirane struje luka, brzo-magnetsko upravljanje i dodatne magnetske filtre makročestica za zahtjeve ultra-glatke površine.

P: Koja je tipična stopa iskorištenja ciljne katode?

O: Iskorištenje se kreće između 55% i 70% na temelju profila katodne erozije i konfiguracije magnetskog polja.

P: Može li sustav upravljati taloženjem reaktivnog plina za više{0}}elementne filmove kao što je TiAlN?

O: Da. Regulatori masenog protoka (MFC) koriste optičku emisiju ili povratnu informaciju parcijalnog tlaka za stabilizaciju reaktivnih protoka (N2, CH4) i održavanje stehiometrijskog sastava.

P: Koji su zahtjevi za električnom energijom?

O: Standardni sustavi zahtijevaju 3-fazno napajanje (380V-480V, 50/60 Hz), s ukupnim kapacitetom opterećenja u rasponu od 60 kVA do 150 kVA, ovisno o količini katode.

 

Popularni tagovi: više-lučni ionski taloženi sustav, Kina više-lučni ionski taloženi sustav proizvođači, dobavljači, tvornica

Pošaljite upit
Kontaktirajte nasako imate bilo kakvih pitanja

Možete nas kontaktirati putem telefona, e-pošte ili online obrasca u nastavku. Naš stručnjak će vas uskoro kontaktirati.

Kontaktirajte odmah!