The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% ionizacija čvrstog katodnog materijala, pokrećući visoko{1}}energetsko bombardiranje ionima u sučelje supstrata za superiorno prianjanje filma u usporedbi s magnetronskim raspršivanjem.
Vakuumska komora od-nehrđajućeg-čelika s dvostrukim stijenkama sadrži modularne izvore luka i PLC-kontrolirani automatizirani ciklus koji upravlja pumpom-dolje,-nagrizanje plazmom na licu mjesta, isporuku reaktivnog plina i više-taloženje slojeva.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija |
|
Veličina komore |
Prilagođeni unutarnji promjer (Phi 800 mm - Phi 1500 mm) |
|
Materijal posude |
Dvo-stjenke SUS304 / SUS316L s unutarnjim kanalima za hlađenje |
|
Osnovni tlak |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (dry-pumped) |
|
Vrijeme-zastoja pumpe |
Atmosfera do 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (clean, empty) |
|
Lučne katode |
4 do 12 pravokutnih ili kružnih izvora |
|
Napajanja |
Istosmjerni luk (0-200 A) i impulsni prednapon (0-3000 V) |
|
Rotacija podloge |
Više{0}}osna planetarna/jedno-rotacija putem prolaza magnetske tekućine |
|
Kontrolni sustav |
Siemens S7-1500 PLC + IPC s automatiziranim receptima |
|
Zahtjevi za komunalne usluge |
Voda za hlađenje (18-25 C, 0,2-0,4 MPa); Komprimirani zrak (0,5-0,7 MPa) |
Ključne značajke
Visoka stopa ionizacije:Smanjuje raslojavanje filma gustim ionskim bombardiranjem.
Kontrolirana stabilnost luka:Programabilni okidači i regulacija struje zatvorene-petlje suzbijaju stvaranje makročestica (kapljica) i sprječavaju trovanje cilja reaktivnim plinovima (N2, C2H2, O2).
Modularni izvori luka:Postavljanje bočnih strana i vrata prilagođava se složenim 3D geometrijama alata za ravnomjernu raspodjelu debljine.
Impulsna prednaprezanja supstrata:Sinkronizirani naponski impulsi prilagođavaju zaostalo naprezanje, usitnjenost zrna i mikrotvrdoću.
Faze-rotacije za teške uvjete rada:Planetarni učvršćivači podržavaju šaržna opterećenja do 500 kg pod visokim toplinskim i vakuumskim opterećenjima.
Konfiguracija vakuumskog sustava
Gruba obrada i korijenje:Više{0}}stupanjske suhe vijčane pumpe uparene s Roots puhalima sprječavaju kontaminaciju ugljikovodicima sve do prijelaznih tlakova.
Visoki vakuum:Turbomolekularne ili difuzijske pumpe održavaju ultra{0}}visoki osnovni tlak.
Hvatanje i mjerenje:Opcijski hladni zamke s tekućim dušikom; kombinirani mjerači -Pirani/hladna katoda širokog raspona.
Materijali za isparavanje i kompatibilnost podloge
Katodne mete:Čisti metali (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) i mete od legura (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).
Materijali supstrata:Brzorezni čelik (HSS), karbidni umetci, alatni čelici za hladni/vrući rad (SKD11, H13), nehrđajući čelik i legure titana.
Pre-tretman:Ultrazvučno čišćenje vodenom otopinom nakon čega slijedi in{0}}Ar+ ili jetkanje bombardiranjem metalnim ionima za uklanjanje prirodnih oksida.
Prijave
Alati za rezanje:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >Površinska tvrdoća 3000 HV i otpornost na oksidaciju.
Kalupi i matrice:Zaštitni slojevi na kalupima za ubrizgavanje i kalupima za utiskivanje za sprječavanje habanja i abrazivnog trošenja.
Automobili:DLC i CrN premazi na klipnim prstenovima, zupčanicima i iglicama injektora za smanjenje koeficijenata trenja.
Medicinski uređaji:Biokompatibilni TiN/TiCN premazi na kirurškim instrumentima i implantatima.
Mogućnosti prilagodbe
Dimenzije komore i raspored otvora:Prilagođeni priključci za nadzor glasnoće i optičke emisije (OEM).
Generatori:Kupci-određene marke napajanja ili specijalizirane impulsne-bias konfiguracije.
Filtriranje:Magnetska upravljačka polja i filtri makročestica za optičke/elektroničke završne obrade bez-kapljica.
Automatizacija:SCADA integracija i povezivanje SQL baze podataka za bilježenje podataka Industrije 4.0.
Kontrola kvalitete i tvorničko ispitivanje
Ispitivanje curenja:Ispitivanje masenim spektrometrom helija na svim zavarenim spojevima (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).
Električna sigurnost:Otpor izolacije, uzemljenje i provjera međusobnog zaključavanja prema standardima CE/NFPA.
Funkcionalni rad na suho:72-satno kontinuirano mehaničko i ciklusno ispitivanje ventila.
Provjera procesa:Ispitivanje referentnog kupona za tvrdoću nanoudubljenja i prianjanje na ogrebotine.
Instalacija i podrška
Pred-instalacija:Predviđeni nacrti rasporeda komunalnih sustava za struju, vodu, ispušne plinove i komprimirani zrak.
Puštanje u rad:Postavljanje na-licu mjesta i probni rad pod nadzorom tvorničkih inženjera.
Trening:Prak-upravljanje, zamjena katode i obuka za rutinsko održavanje.
Briga o životnom ciklusu:Sigurna VPN udaljena dijagnostika i lokalna nabava rezervnih dijelova.
FAQ
P: Kako se kontroliraju makročestice (kapljice) tijekom taloženja katodnim lukom?
O: Ublažavanje se oslanja na optimizirane struje luka, brzo-magnetsko upravljanje i dodatne magnetske filtre makročestica za zahtjeve ultra-glatke površine.
P: Koja je tipična stopa iskorištenja ciljne katode?
O: Iskorištenje se kreće između 55% i 70% na temelju profila katodne erozije i konfiguracije magnetskog polja.
P: Može li sustav upravljati taloženjem reaktivnog plina za više{0}}elementne filmove kao što je TiAlN?
O: Da. Regulatori masenog protoka (MFC) koriste optičku emisiju ili povratnu informaciju parcijalnog tlaka za stabilizaciju reaktivnih protoka (N2, CH4) i održavanje stehiometrijskog sastava.
P: Koji su zahtjevi za električnom energijom?
O: Standardni sustavi zahtijevaju 3-fazno napajanje (380V-480V, 50/60 Hz), s ukupnim kapacitetom opterećenja u rasponu od 60 kVA do 150 kVA, ovisno o količini katode.
Popularni tagovi: više-lučni ionski taloženi sustav, Kina više-lučni ionski taloženi sustav proizvođači, dobavljači, tvornica

